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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0010682 (2021-01-26) | |
등록번호 | 10-2288530-0000 (2021-08-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210010682 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-01-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 정전척의 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 정전척은, 정전척은, 냉각 가스 공급을 위한 제1 가스 홀을 포함하는 가스 유로를 갖는 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트 상에 고정되고, 가공 대상 기판을 척킹 및 디척킹하기 위한 절연 플레이트로서, 상기 제1 가스 홀과 소통하는 제2 가스 홀을 가지는 상기 절연 플레이트, 및 상기 베이스 플레이트와 상기 절연 플레이트 사이에 상기 제1 가스 홀과 상기 제2 가스 홀이 만나는 위치에 배치된 스페이서를 포함하고, 상기 스페이서는, 상기 베이스 플레이트와 상기 절연 플레이
냉각 가스 공급을 위한 제1 가스 홀을 포함하는 가스 유로를 갖는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 고정되고, 가공 대상 기판을 척킹 및 디척킹하기 위한 절연 플레이트로서, 상기 제1 가스 홀과 소통하는 제2 가스 홀을 가지는 상기 절연 플레이트; 및상기 베이스 플레이트와 상기 절연 플레이트 사이에 상기 제1 가스 홀과 상기 제2 가스 홀이 만나는 위치에 배치된 스페이서를 포함하고, 상기 스페이서는, 상기 베이스 플레이트와 상기 절연 플레이트를 접합하기 위한 상기 스페이서 외측의 접합 물질에 의해 둘러싸여 있으며, 상기
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