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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0126048 (2018-10-22) | |
공개번호 | 10-2020-0045233 (2020-05-04) | |
등록번호 | 10-2244639-0000 (2021-04-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180126048 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-10-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 측면에 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)을 설치해서 측면 송풍을 수행하면서 송풍 기류를 조정하도록 구현한 클린룸 구조에 관한 것으로, 외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 룸부의 측면에 설치되어, 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함한다.
외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 상기 룸부의 측면에 설치되어, 상기 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함하되; 상기 룸부는, 틀을 형성해 주기 위한 틀부재; 상기 틀부재를 덮어씌워 상기 틀부재를 분리 또는 격리해 주기 위한 커버부재; 및 바닥을 형성해 주기 위한 바닥부재를 포함하며; 상기 바닥부재는, 제전 타일 또는 에폭시 코팅으로 형성시켜 바닥에서 발생하는 정전기가 대전되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하며; 상기 FFU부는, 정상 가동 시에, 청정 공기를 기 설정된 최대 거
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