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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2018-0134185 (2018-11-05) | |
| 공개번호 | 10-2020-0051182 (2020-05-13) | |
| 등록번호 | 10-2114103-0000 (2020-05-18) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020180134185 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2018-11-05) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 접속부가 상기 검사대상물에 해당하는 산화물 반도체 박막에 접속되면, 상기 산화물 반도체 박막을 검사하기 위한 인가전압을 발생시키는 전압발생부; 상기 전압발생부가 발생시킨 인가전압을 기설정된 초기값과 기설정된 최대값 사이에서 가변시키는 전압가변부; 상기 전압가변부에 의해 가변되는 인가전압이 측정저항을 거쳐 상기 산화물반도체 박막에 인가되도록 상기 접속부와 상기 전압발생부 각각에 연결되어서 상기 측정저항을 설정하는 저항부; 상기 산화물 반도체 박막에 대해 전압이 측정되는지에 따라 상기 산화물 반도체 박막에 대한 박막전압을 획
산화물 반도체 박막을 검사하기 위한 측정저항을 설정하는 단계;상기 산화물 반도체 박막에 상기 측정저항을 거친 전압이 인가되도록 인가전압을 인가하는 단계;상기 인가전압을 기설정된 초기값에서 기설정된 최대값으로 가변시키는 과정에서 상기 산화물 반도체 박막에 대한 박막전압이 획득되는지를 판단하는 단계;상기 박막전압이 획득된 경우, 상기 박막전압이 획득된 시점에 상기 측정저항에 걸린 저항전압을 추출하는 단계; 및추출된 저항전압과 상기 박막전압이 획득된 시점의 측정저항을 이용하여 박막전류를 산출하고, 산출된 박막전류와 상기 박막전압을 이용하
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