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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0148337 (2018-11-27) | |
공개번호 | 10-2019-0088875 (2019-07-29) | |
등록번호 | 10-2038056-0000 (2019-10-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180148337 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 다이싱 공정용 보호코팅제 박리용 박리제에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 제조 공정을 진행할 때, 웨이퍼의 표면을 보호하기 위해 코팅되어 있는 보호코팅제를 웨이퍼의 표면 손상없이 제거할 수 있는 다이싱 공정용 보호코팅제 박리용 박리제에 관한 것이다.
웨이퍼 표면에 코팅되어 있는 보호코팅제를 박리하는 것을 특징으로 하는 다이싱 공정용 보호코팅제 박리용 박리제로서,상기 박리제는 친수성용매계 화합물, 에테르계 화합물, 하이드록사이드계 화합물 및 계면활성제를 포함하고,상기 박리제는 상기 친수성용매계 화합물, 상기 에테르계 화합물 및 상기 하이드록사이드계 화합물을 1 : 1.3 ~ 1.96 : 0.53 ~ 0.8 중량비로 포함하는 것인,다이싱 공정용 보호코팅제 박리용 박리제.
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