[특허]정전척용 플레이트 및 이의 제조방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 B23Q-003/15 H01L-021/02 H01L-021/033 H02N-013/00
출원번호	10-2018-0162950 (2018-12-17)
등록번호	10-2048161-0000 (2019-11-18)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180162950
발명자 / 주소	엄홍국 / 경기도 화성시 동탄순환대로길 , **동 호(청계동, 롯데캐슬 알바트로스) 장기범 / 서울특별시 강서구 등촌로 , 동 *호 (등촌동, 등촌동 아이파크)
출원인 / 주소	엄홍국 / 경기도 화성시 동탄순환대로길 , **동 호(청계동, 롯데캐슬 알바트로스) 장기범 / 서울특별시 강서구 등촌로 , 동 *호 (등촌동, 등촌동 아이파크)
대리인 / 주소	한건우
심사청구여부	있음 (2018-12-17)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 정전척용 플레이트 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 정전척용 플레이트 제조방법은 점토를 포함하는 소재로 제작되는 기판부를 마련하는 기판부 마련단계; 상기 기판부를 패터닝하여 함몰패턴을 형성하는 함몰패턴 형성단계; 상기 함몰패턴 내에 전기적 전도성을 갖는 금속소재를 충진하여 전극패턴을 형성하는 전극패턴 형성단계; 상기 전극패턴이 밀봉되도록 상기 기판 상에 절연 박막층을 적층하는 절연 박막층 적층단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따르면, 저비용으로 내구성, 내전압 특성, 정전력 등이 우수한 정전척용 플

대표청구항 ▼

점토를 포함하는 소재로 제작되는 기판부를 마련하는 기판부 마련단계;상기 기판부를 패터닝하여 함몰패턴을 형성하는 함몰패턴 형성단계;상기 함몰패턴 내에 전기적 전도성을 갖는 금속소재를 충진하여 전극패턴을 형성하는 전극패턴 형성단계;상기 전극패턴이 밀봉되도록 상기 기판 상에 절연 박막층을 적층하는 절연 박막층 적층단계;를 포함하고,상기 기판부 마련단계는,점토를 적어도 일부 포함하는 소재를 판형으로 성형하는 성형단계; 상기 점토질 소재 내에 텅스텐 소재로 구성되는 복수 개의 와이어를 그리드(grid) 형태로 배치하는 와이어 배치단계; 상기

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[한국] 정전 척 및 형성 방법 | 어보와프 마크, 인토 스티븐 더블유, 심슨 매튜 에이
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[한국] 정전 흡착 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 및 정전 흡착 장치의 제조 방법 | 김동진, 송치성
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[한국] 교류구동 정전 척 | 아나다 카즈키, 이시카와 카즈코, 요시이 유이치, 요네자와 준지
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[일본] CERAMICS HEATER AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME | KUSHIHASHI TAKUMA, KIMURA NOBORU, SHIMIZU YOSHIHIKO
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[일본] CERAMIC JOINED BODY AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME | KITABAYASHI TETSUO, KAWAGUCHI SHINNOSUKE, TSUCHIDA ATSUSHI, SATO KEISUKE, TSUTAI YOSHIFUMI, ISHIDA HIRONORI, MIYATA NOBORU
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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