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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

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정전척 및 웨이퍼 처리 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
  • H01L-021/687
출원번호 10-2018-7011953 (2018-04-26)
공개번호 10-2018-0049176 (2018-05-10)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2015-086807 (2015-04-21)
국제출원번호 PCT/JP2015/062905 (2015-04-28)
국제공개번호 WO 2016/170694 (2016-10-27)
번역문제출일자 2018-04-26
DOI http://doi.org/10.8080/1020187011953
발명자 / 주소
  • 아나다 카즈키 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
  • 요시이 유이치 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
  • 와다 타쿠마 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
출원인 / 주소
  • 토토 가부시키가이샤 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메*반 *고
대리인 / 주소
  • 하영욱
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록 ▼

본 발명에 따른 정전척은 처리 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 둘레단부에 설치되어 상기 제 1 주면의 일부를 형성 하는 시일 링을 갖고, 다결정 세라믹 소결체인 세라믹 유전체 기판과, 상기 세라믹 유전체 기판의 상기 제 1 주면과 상기 제 2 주면 사이에 형성되며 상기 세라믹 유전체 기판에 일체 소결된 전극층을 구비하고, 제 1 주면과 직교하는 방향으로 보아 상기 세라믹 유전체 기판의 외주와 상기 전극층의 외주의 간격이 균일해지도록 상기 세라믹 유전체 기판의 외주가 가공되고, 상기 시

대표청구항 ▼

처리 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 둘레단부에 설치되어 상기 제 1 주면의 일부를 형성하는 시일 링을 갖고, 다결정 세라믹 소결체인 세라믹 유전체 기판과, 상기 세라믹 유전체 기판의 상기 제 1 주면과 상기 제 2 주면 사이에 형성되며 상기 세라믹 유전체 기판에 일체 소결된 전극층을 구비하고, 상기 전극층은 서로 이간되어 배치된 복수의 전극 요소를 포함하고, 상기 제 1 주면과 직교하는 방향으로 보아 상기 세라믹 유전체 기판의 외주와 상기 전극층의 외주의 간격이 균일해지도록 상기 세

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