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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-7014660 (2018-05-24) | |
공개번호 | 10-2018-0092941 (2018-08-20) | |
등록번호 | 10-2540086-0000 (2023-05-31) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2015-241883 (2015-12-11) | |
국제출원번호 | PCT/JP2016/084057 (2016-11-17) | |
국제공개번호 | WO 2017/098882 (2017-06-15) | |
번역문제출일자 | 2018-05-24 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020187014660 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-21) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 현상성, 내열성 및 드라이에칭내성이 우수한 노볼락형 수지 및 레지스트막을 제공하는 것을 과제로 한다.이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 하기 구조식(1)[식 중 α는 하기 구조식(2)으로 표시되는 구조 부위(α)이고, n은 2∼10의 정수이다]으로 표시되는 분자 구조를 갖는 환상 노볼락형 수지(A)를 함유하고, 수지 중에 존재하는 X 중 적어도 하나가 3급 알킬기, 알콕시알킬기, 아실기, 알콕시카르보닐기, 헤테로 원자 함유 환상 탄화수소기, 트리알킬실릴기 중 어느 하나이고, 수지 중에 존재하는 구조 부위(α) 중
하기 구조식(1)[식 중 α는 하기 구조식(2)(식 중 R1은 치환기를 갖고 있어도 되는 알킬기, 치환기를 갖고 있어도 되는 아릴기 중 어느 하나이다.R2은 각각 독립으로 수소 원자, 알킬기, 알콕시기, 할로겐 원자 중 어느 하나이고, 나프탈렌환 상의 어느 탄소 원자에 결합하고 있어도 되고, m은 1∼5의 정수이다.X는 수소 원자, 3급 알킬기, 알콕시알킬기, 아실기, 알콕시카르보닐기, 헤테로 원자 함유 환상 탄화수소기, 트리알킬실릴기 중 어느 하나이고, -OX기는 나프탈렌환 상의 어느 탄소 원자에 결합하고 있어도 되고, l은 1
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