초록 ▼

내열성, 알칼리현상성, 광감도, 해상도 등의 제반 성능이 우수한 노볼락형 수지, 상기 노볼락형 수지를 함유하는 감광성 조성물, 상기 노볼락형 수지를 함유하는 경화성 조성물과 그 경화물, 상기 감광성 조성물 또는 경화성 조성물을 사용해서 이루어지는 레지스트 재료를 제공한다.트리스(히드록시아릴)메틴기를 갖는 화합물(A)과 알데히드 화합물(B)을 필수의 반응 원료로 하는 노볼락형 수지, 상기 노볼락형 수지를 함유하는 감광성 조성물, 상기 노볼락형 수지를 함유하는 경화성 조성물과 그 경화물, 상기 감광성 조성물 또는 경화성 조성물을 사용해

내열성, 알칼리현상성, 광감도, 해상도 등의 제반 성능이 우수한 노볼락형 수지, 상기 노볼락형 수지를 함유하는 감광성 조성물, 상기 노볼락형 수지를 함유하는 경화성 조성물과 그 경화물, 상기 감광성 조성물 또는 경화성 조성물을 사용해서 이루어지는 레지스트 재료를 제공한다.트리스(히드록시아릴)메틴기를 갖는 화합물(A)과 알데히드 화합물(B)을 필수의 반응 원료로 하는 노볼락형 수지, 상기 노볼락형 수지를 함유하는 감광성 조성물, 상기 노볼락형 수지를 함유하는 경화성 조성물과 그 경화물, 상기 감광성 조성물 또는 경화성 조성물을 사용해서 이루어지는 레지스트 재료에 의한다.

대표청구항

트리스(히드록시아릴)메틴기를 갖는 화합물(A)과 포름알데히드(B)을 반응 원료로 하고, 다분산도(Mw/Mn)가 3∼20의 범위인 노볼락형 수지.

트리스(히드록시아릴)메틴기를 갖는 화합물(A)과 포름알데히드(B)을 반응 원료로 하고, 다분산도(Mw/Mn)가 3∼20의 범위인 노볼락형 수지.