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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-7026283 (2018-09-11) | |
공개번호 | 10-2018-0114918 (2018-10-19) | |
등록번호 | 10-2143085-0000 (2020-08-04) | |
우선권정보 | 중국(CN) 201610092322.2 (2016-02-18) | |
국제출원번호 | PCT/CN2017/073957 (2017-02-17) | |
국제공개번호 | WO 2017/140265 (2017-08-24) | |
번역문제출일자 | 2018-09-11 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020187026283 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-09-11) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
노광 시스템(10), 노광 장치 및 노광 방법이 개시된다. 상기 노광 시스템(10)은 레이저 유닛(11), 광점 전환 유닛(12) 및 렌즈 유닛(13)을 포함하며; 상기 레이저 유닛(11)은 레이저 광선을 생산하기 위해 구성되고; 상기 광점 전환 유닛(12)은 노광되는 가공물을 위해 광점의 원하는 크기를 기반으로 상이한 광로들 중 하나를 따라 이동하도록 상기 레이저 광선을 지향하여 상기 광점의 원하는 크기와 대응하는 레이저 광선이 얻어지도록 구성되고; 상기 렌즈 유닛(13)은 상기 레이저 광선이 상기 가공물 상에 입사되는 방향을 바
레이저 유닛;광점 전환 유닛; 및 렌즈 유닛;을 포함하며,상기 레이저 유닛은 레이저 광선을 생산하도록 구성되고,상기 광점 전환 유닛은 제1개구를 포함하는 제1광로 및 제2개구를 포함하는 제2광로를 포함하고, 상기 광점 전환 유닛은 노광되는 가공물을 위한 광점의 원하는 크기를 기반으로 상기 제1개구 및 상기 제2개구의 개방 또는 폐쇄 상태를 제어함으로써 제1광로 및 제2광로 중 하나를 따라 이동하도록 상기 레이저 광선을 지향하도록 구성되어 상기 광점의 원하는 크기에 대응하는 레이저 광선이 얻어지고,상기 렌즈 유닛은 상기 레이저 광선이
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