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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0095655 (2014-07-28) | |
공개번호 | 10-2015-0072320 (2015-06-29) | |
등록번호 | 10-1707714-0000 (2017-02-10) | |
우선권정보 | 미국(US) 14/135,017 (2013-12-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140095655 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-07-28) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
포토레지스트 노즐 디바이스를 포함하는 포토레지스트 공급 시스템의 실시예들이 제공된다.포토레지스트 노즐 디바이스는, 제1 세그먼트, 상기 제1 세그먼트에 연결된 만곡 세그먼트, 및 상기 만곡 세그먼트에 연결된 제2 세그먼트를 포함하는 튜브를 포함한다.포토레지스트 노즐 디바이스는 또한, 제2 세그먼트에 연결된 노즐을 포함한다.
포토레지스트 노즐 디바이스에 있어서,수용 홈을 갖는 유지 프레임;제1 세그먼트, 상기 제1 세그먼트에 연결되며 상기 수용 홈 내에 위치된 만곡 세그먼트, 및 상기 만곡 세그먼트에 연결된 제2 세그먼트를 포함하는 튜브로서, 상기 튜브의 상기 만곡 세그먼트는 광 투과 가능 재료로 제조되고 외관 검사가 가능하도록 구성되는 것인, 상기 튜브; 및상기 제2 세그먼트에 연결된 노즐을 포함하고,상기 유지 프레임은, 제1 벽, 및 상기 제1 벽에 연결된 제2 벽을 포함하고, 상기 제1 벽 및 상기 제2 벽은 상기 수용 홈을 형성하고, 상기 제1
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