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연합인증

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포토레지스트 노즐 디바이스 및 포토레지스트 공급 시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G03F-007/16
출원번호 10-2014-0095655 (2014-07-28)
공개번호 10-2015-0072320 (2015-06-29)
등록번호 10-1707714-0000 (2017-02-10)
우선권정보 미국(US) 14/135,017 (2013-12-19)
DOI http://doi.org/10.8080/1020140095655
발명자 / 주소
  • 청 쿠오-슈 / 중화민국 타이완 타이페이 카운티 *** 반씨아오 시티 윤셩 스트리트 래인 ** 넘버 ** *에프
  • 첸 유-펭 / 중화민국 타이완 타이청 시티 *** 시툰 디스트릭트 구오안 퍼스트 로드 넘버 *** **에프 룸 *
  • 첸 옌-유 / 중화민국 타이완 타이청 시티 *** 시툰 디스트릭트 샹-안 로드 래인 ** 넘버 ** **에프-*
출원인 / 주소
  • 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 *, 넘버 *
대리인 / 주소
  • 김태홍
심사청구여부 있음 (2014-07-28)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

포토레지스트 노즐 디바이스를 포함하는 포토레지스트 공급 시스템의 실시예들이 제공된다.포토레지스트 노즐 디바이스는, 제1 세그먼트, 상기 제1 세그먼트에 연결된 만곡 세그먼트, 및 상기 만곡 세그먼트에 연결된 제2 세그먼트를 포함하는 튜브를 포함한다.포토레지스트 노즐 디바이스는 또한, 제2 세그먼트에 연결된 노즐을 포함한다.

대표청구항

포토레지스트 노즐 디바이스에 있어서,수용 홈을 갖는 유지 프레임;제1 세그먼트, 상기 제1 세그먼트에 연결되며 상기 수용 홈 내에 위치된 만곡 세그먼트, 및 상기 만곡 세그먼트에 연결된 제2 세그먼트를 포함하는 튜브로서, 상기 튜브의 상기 만곡 세그먼트는 광 투과 가능 재료로 제조되고 외관 검사가 가능하도록 구성되는 것인, 상기 튜브; 및상기 제2 세그먼트에 연결된 노즐을 포함하고,상기 유지 프레임은, 제1 벽, 및 상기 제1 벽에 연결된 제2 벽을 포함하고, 상기 제1 벽 및 상기 제2 벽은 상기 수용 홈을 형성하고, 상기 제1

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. [일본] PROCESSING LIQUID SUPPLY UNIT | OTANI MASAMI, NISHIMURA JOICHI
  2. [일본] MEDICINE FEEDER | TOKUMARU MASARU
  3. [미국] Photoresist Coating Liquid Supplying Apparatus, And Photoresist Coating Liquid Supplying Method And Photoresist Coating Apparatus Using Such Photoresist Coating Liquid Supplying Apparatus | Taniguchi,Katsuto, Kojima,Kazuhiro, Noya,Atsuko
  4. [한국] 반도체 제조 장치에 쓰이는 풀림 여부를 용이하게 관찰할수 있는 튜브 | 임상동
  5. [한국] 노즐 및 그것을 구비하는 기판처리장치 | 오사다 나오유키, 사와무라 마사시, 하세가와 코지
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