초록 ▼

노광 시스템(10), 노광 장치 및 노광 방법이 개시된다. 상기 노광 시스템(10)은 레이저 유닛(11), 광점 전환 유닛(12) 및 렌즈 유닛(13)을 포함하며; 상기 레이저 유닛(11)은 레이저 광선을 생산하기 위해 구성되고; 상기 광점 전환 유닛(12)은 노광되는 가공물을 위해 광점의 원하는 크기를 기반으로 상이한 광로들 중 하나를 따라 이동하도록 상기 레이저 광선을 지향하여 상기 광점의 원하는 크기와 대응하는 레이저 광선이 얻어지도록 구성되고; 상기 렌즈 유닛(13)은 상기 레이저 광선이 상기 가공물 상에 입사되는 방향을 바

노광 시스템(10), 노광 장치 및 노광 방법이 개시된다. 상기 노광 시스템(10)은 레이저 유닛(11), 광점 전환 유닛(12) 및 렌즈 유닛(13)을 포함하며; 상기 레이저 유닛(11)은 레이저 광선을 생산하기 위해 구성되고; 상기 광점 전환 유닛(12)은 노광되는 가공물을 위해 광점의 원하는 크기를 기반으로 상이한 광로들 중 하나를 따라 이동하도록 상기 레이저 광선을 지향하여 상기 광점의 원하는 크기와 대응하는 레이저 광선이 얻어지도록 구성되고; 상기 렌즈 유닛(13)은 상기 레이저 광선이 상기 가공물 상에 입사되는 방향을 바꾸기 위해 구성된다. 상기 광점 전환 유닛(12)은 상기 레이저 빔이 상이한 상기 광로들 사이에서 전환되어 상이한 범위 내의 크기로 정해진 광점들을 형성할 수 있게 하고, 이는 다양한 임계 치수들을 갖는 가공물들의 상이한 요구들을 만족시킨다. 결과적으로, 상이한 가공물들에 대한 가공 적응성에서의 향상 및 비용에서의 현저한 절감이 달성될 수 있다.

대표청구항 ▼

레이저 유닛;광점 전환 유닛; 및 렌즈 유닛;을 포함하며,상기 레이저 유닛은 레이저 광선을 생산하도록 구성되고,상기 광점 전환 유닛은 제1개구를 포함하는 제1광로 및 제2개구를 포함하는 제2광로를 포함하고, 상기 광점 전환 유닛은 노광되는 가공물을 위한 광점의 원하는 크기를 기반으로 상기 제1개구 및 상기 제2개구의 개방 또는 폐쇄 상태를 제어함으로써 제1광로 및 제2광로 중 하나를 따라 이동하도록 상기 레이저 광선을 지향하도록 구성되어 상기 광점의 원하는 크기에 대응하는 레이저 광선이 얻어지고,상기 렌즈 유닛은 상기 레이저 광선이

레이저 유닛;광점 전환 유닛; 및 렌즈 유닛;을 포함하며,상기 레이저 유닛은 레이저 광선을 생산하도록 구성되고,상기 광점 전환 유닛은 제1개구를 포함하는 제1광로 및 제2개구를 포함하는 제2광로를 포함하고, 상기 광점 전환 유닛은 노광되는 가공물을 위한 광점의 원하는 크기를 기반으로 상기 제1개구 및 상기 제2개구의 개방 또는 폐쇄 상태를 제어함으로써 제1광로 및 제2광로 중 하나를 따라 이동하도록 상기 레이저 광선을 지향하도록 구성되어 상기 광점의 원하는 크기에 대응하는 레이저 광선이 얻어지고,상기 렌즈 유닛은 상기 레이저 광선이 상기 가공물 상에 입사되는 방향을 변경하도록 구성되고,상기 제1광로는, 크기가 조정 가능하고 임계 광점 크기보다 작은 크기를 가지는 제1광점을 생성하도록 구성되고,상기 제2광로는, 기하학적 이미징에 의해, 크기가 조정 가능하고 임계 광점 크기보다 크거나 동일한 크기를 가지는 제2광점을 생성하도록 구성되는 노광 시스템.