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연합인증

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[한국특허] 보호 금속 불산화물 코팅들 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/56
  • H01L-021/02
출원번호 10-2018-7034571 (2018-11-28)
공개번호 10-2018-0132949 (2018-12-12)
등록번호 10-2487562-0000 (2023-01-06)
우선권정보 미국(US) 62/331,326 (2016-05-03);미국(US) 15/498,383 (2017-04-26)
국제출원번호 PCT/US2017/030690 (2017-05-02)
국제공개번호 WO 2017/192622 (2017-11-09)
번역문제출일자 2018-11-28
DOI http://doi.org/10.8080/1020187034571
발명자 / 주소
  • 펜윅, 데이비드 / 미국 ***** 캘리포니아 로스 알토스 힐스 엘레나 로드 *****
  • 이, 쳉친 / 미국 ***** 캘리포니아 유니온 시티 코티나 웨이 ****
  • 선, 제니퍼 와이. / 미국 ***** 캘리포니아 마운틴 뷰 오크 헤이븐 플레이스 ***
  • 첸, 이카이 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 아게이트 드라이브 **** 아파트먼트 ***
출원인 / 주소
  • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인 남앤남
심사청구여부 있음 (2020-04-28)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

물품은 보호 코팅을 갖는 본체를 포함한다.보호 코팅은 금속 불산화물을 포함하는 박막이다.금속 불산화물은 MxOyFz의 실험식을 가지며, 여기서 M은 금속이고, y는 x 값의 0.1배 내지 1.9배의 값을 가지며, z는 x 값의 0.1배 내지 3.9배의 값을 갖는다.보호 코팅은 1 내지 30 미크론의 두께 및 0.1% 미만의 다공률을 갖는다.

대표청구항

박막으로서,MxOyFz의 실험식을 갖는 금속 불산화물(oxy-fluoride)을 포함하며,M은 가돌리늄, 알루미늄, 세륨, 디스프로슘, 지르코늄, 칼슘, 마그네슘, 에르븀, 란타늄, 네오디뮴, 이테르븀 또는 스트론튬으로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 금속 또는 복수의 금속들의 혼합물이고, y는 x 값의 0.1배 내지 1.9배의 값을 가지며, z는 상기 x 값의 0.1배 내지 3.9배의 값을 갖고;상기 박막은 1 내지 30 미크론의 두께 및 0.1% 미만의 다공률(porosity)을 가지며,M은 2의 원자가(valence)를 갖고,

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [일본] PRODUCTION OF OPTICAL THIN FILM | MITAMURA NOBUAKI, KAWAMATA TAKESHI
  2. [일본] LAMINATE, CORROSION RESISTANT MEMBER AND HALOGEN GAS PLASMA RESISTANT MEMBER | MASUDA MASAAKI, KATSUTA YUJI, HARADA MASASHI, YAMADA HIROTAKE, IWASAKI HIROYUKI
  3. [국제] DURABLE ANTIREFLECTIVE MULTISPECTRAL INFRARED COATINGS | MCCLOY, John, S., KORENSTEIN, Ralph, CREMIN, Peter, E., RUSTISON, Randal, W.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 반도체 공정 부품, 상기 반도체 공정 부품을 코팅하는 장치 및 방법 | 윤영배, 강지철
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