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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0005013 (2019-01-15) | |
공개번호 | 10-2019-0088888 (2019-07-29) | |
등록번호 | 10-2142881-0000 (2020-08-04) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020180007106 (2018-01-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190005013 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-01-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 웨이퍼 프로버에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 프로빙 스테이지는, 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트의 상부 표면에 탑재된 복수 개의 승강 기둥; 및 상기 복수 개의 승강 기둥의 상단부에 탑재되는 상부 플레이트;를 구비하고, 상기 복수 개의 승강 기둥의 각각은 상부 플레이트와 하부 플레이트의 사이를 승하강하도록 구성되며, 상기 상부 플레이트는 상기 승강 기둥들의 상하 이동에 따라 높낮이 및 기울기가 조정된다. 상기 웨이퍼 프로빙 스테이지는 각 승강 기둥에 인가되는 하중에 따라 각 승강 기둥의 높이를 조절하여,
웨이퍼를 거치하는 척(Chuck) 및 상기 척을 이동시키거나 회전시키는 웨이퍼 프로빙 스테이지를 구비하는 웨이퍼 프로버에 있어서, 상기 웨이퍼 프로빙 스테이지는, 하부 플레이트;상기 하부 플레이트의 상부 표면에 탑재된 복수 개의 승강 기둥; 상기 복수 개의 승강 기둥의 상단부에 탑재되는 상부 플레이트; 및승강 기둥들의 수직 높이의 변화에 따라 상부 플레이트의 중심 방향 또는 원주 방향을 향해 수평으로 이동되도록 구성된 선형 이동 가이드(Linear Motion Guide)로 이루어져, 상기 승강 기둥들의 상단부들과 상부 플레이트의
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