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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2019-0009683 (2019-01-25) | |
| 등록번호 | 10-2119189-0000 (2020-05-29) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020190009683 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2019-01-25) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 테스터를 캘리브레이션할 수 있는 웨이퍼 프로버에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 프로버는 웨이퍼 척의 외주면 또는 하부면에 TCT를 탑재할 수 있는 TCT 거치 모듈을 장착함으로써, TCT를 이용하여 테스터를 실시간으로 캘리브레이션할 수 있게 된다. 상기 TCT 거치 모듈은 TCT를 탑재할 수 있는 TCT 거치대, 상기 TCT 거치대에 탑재된 TCT를 진공 흡착시키도록 구성된 진공 흡착 모듈, TCT 거치대의 높이를 제어하기 위한 Z축 구동 모듈 및 상기 TCT 거치 모듈을 웨이퍼 척의 주변에 고정시키기 위한 고정 브래킷을 구
웨이퍼 프로버에 있어서, 웨이퍼 척의 주변에 테스터 캘리브레이션 툴을 탑재할 수 있는 테스터 캘리브레이션 툴 거치 모듈을 구비하고, 상기 테스터 캘리브레이션 툴 거치 모듈은, 테스터 캘리브레이션 툴을 탑재하기 위한 테스터 캘리브레이션 툴 거치대; 및일부 영역은 웨이퍼 척에 고정 장착되고 일부 영역에는 테스터 캘리브레이션 툴 거치대가 탑재되도록 구성되어, 상기 테스터 캘리브레이션 툴 거치대를 상기 웨이퍼 척에 고정 장착시키는 고정 브래킷;을 구비하여, 테스터 캘리브레이션 툴을 이용하여 테스터를 캘리브레이션시킬 수 있도록 구성된 것을
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