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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0077737 (2002-12-09) |
공개번호 | 10-2004-0050123 (2004-06-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020077737 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
웨이퍼 척의 내부온도 조절을 용이하게 할 수 있는 반도체 장치의 프로브 스테이션 및 상기 웨이퍼 척의 구조가 개시된다. 본 발명에 따른 프로브 스테이션은 상하좌우로 이동할 수 있고, 상부에 반도체 웨이퍼가 로드(load)되어 프로브 카드(probe card)를 통하여 테스트되는 웨이퍼 척; 상기 웨이퍼 척의 주위를 둘러싸도록 배치되어, 상기 웨이퍼 척과 외부를 차단하는 외부차단수단; 및, 상기 외부차단수단과 연결되고, 상기 웨이퍼 척의 온도를 조절하기 위하여 소정의 온도를 가지는 에어를 상기 외부차단수단에 공급하는 에어공급수단을 구
반도체 장치의 프로브 스테이션의 웨이퍼 척에 있어서,상기 웨이퍼 척은 상기 웨이퍼 척의 신속한 온도 가변을 위하여 주위의 공기와의 접촉면이 많도록 방열판의 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 프로브 스테이션의 웨이퍼 척.
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