[특허]FinFET 소자

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-029/78 H01L-029/66 H01L-029/778
출원번호	10-2019-0011761 (2019-01-30)
공개번호	10-2020-0094869 (2020-08-10)
등록번호	10-2167049-0000 (2020-10-12)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190011761
발명자 / 주소	이정희 / 대구광역시 수성구 동대구로길 , *동 호(범어동, 유림노르웨이숲) 손동혁 / 경상북도 김천시 문지왈길 , *동 호(부곡동, 현대아파트) 이준혁 / 울산광역시 울주군 온양읍 남창강변로 , 동 호(현대아파트) 김정길 / 부산광역시 해운대구 해운대로번길 -, **호(반여동, 남양주택) 따이 췐 / 대구광역시 북구 경대로길 , *호(대현동)
출원인 / 주소	경북대학교 산학협력단 / 대구광역시 북구 대학로 ** (산격동, 경북대학교)
대리인 / 주소	김태헌
심사청구여부	있음 (2019-01-30)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

FinFET 소자가 개시된다. FinFET 소자는 기판, 기판에 형성된 버퍼층, 버퍼층에 핀 형상으로 형성되고, 폭이 20nm 내지 80nm이며, 제1 물질층과 제2 물질층이 접합되어 형성된 이종물질 접합층, 이종물질 접합층을 감싸도록 형성된 유전체층 및 유전체층을 감싸도록 형성된 게이트층을 포함한다.

대표청구항

기판;상기 기판에 형성된 버퍼층;상기 버퍼층에 핀 형상으로 형성되고, 폭이 20nm 내지 80nm이며, 제1 물질층과 제2 물질층이 접합되어 형성된 이종물질 접합층;상기 이종물질 접합층을 감싸도록 형성된 유전체층; 및상기 유전체층을 감싸도록 형성된 게이트층;을 포함하고,상기 이종물질 접합층의 제1 물질층은,m-평면(plane) 방향으로 형성된, FinFET 소자.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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