최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2019-0026840 (2019-03-08) | |
공개번호 | 10-2019-0027807 (2019-03-15) | |
등록번호 | 10-2070311-0000 (2020-01-20) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020170024297 (2017-02-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190026840 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2019-03-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 유기금속화합물 및 그 제조방법, 그리고 이를 이용한 박막 및 그 제조방법은 박막 증착 속도를 증가시키며 공정상 오염을 저하시킴과 동시에 넓은 온도 범위에서 사용될 수 있다. 또한, 제조공정의 신뢰도 및 효율성을 현저히 향상시킬 수 있다.
하기 화학식 2의 구조를 갖는 박막용 유기금속화합물;[화학식 1]상기 화학식 1에서, M은 Ti, Zr 또는 Hf 중에서 선택되며;Xa는 이며, Xb는 이고, Xc는 이며;Y는 각각 독립적으로 C, N 또는 O이며;R1은 C1~9의 알킬기 또는 헤테로알킬기이며;R2, R3 및 R4는 각각 독립적으로 C1~9의 알킬기, -OCH3 또는 -CH2OCH3 이고, 상기 R3 및 R4는 존재하거나 존재하지 않으며;Q1, Q2 및 Q3은 각각 독립적으로 N, P, As 또는 P=O이며;A 및 B는 각각 독립적으로 C1~9의 알킬기 또는 헤테로
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.