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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0034672 (2019-03-26) | |
공개번호 | 10-2020-0113865 (2020-10-07) | |
등록번호 | 10-2194435-0000 (2020-12-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190034672 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-03-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 검사장비용 정밀구동 스테이지에 관한 것으로서, 하부스테이지(100); 상부스테이지(200); 상기 하부스테이지(100)와 상부스테이지(200) 사이에 배치되어 상기 상부스테이지(200)를 전후진 이동시키는 XY축 이동조절수단(300); 및 상기 XY축 이동조절수단(300)과 연동되어 이동하며, 상기 하부스테이지(100)및 상기 상부스테이지(200)와 각각 연결되어 상기 상부스테이지(200)의 틸팅각을 조절하는 틸팅각 조절수단(400);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 본 발명은 간단한 조작으로 스테이지의 평면상에
하부스테이지(100);상부스테이지(200);상기 하부스테이지(100)와 상부스테이지(200) 사이에 배치되어 상기 상부스테이지(200)를 전후진 이동시키는 XY축 이동조절수단(300); 및 상기 XY축 이동조절수단(300)과 연동되어 이동하며, 상기 하부스테이지(100)및 상기 상부스테이지(200)와 각각 연결되어 상기 상부스테이지(200)의 틸팅각을 조절하는 틸팅각 조절수단(400);을 포함하여 구성되며,상기 상부스테이지(200)는, 전면 중앙위치에 제1결합부(210)가 수직 하방향으로 일체로 또는 별개로 형성되어 고정되며, 상기
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