$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

스퍼터링 타겟 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-014/34
  • C04B-035/453
  • C23C-014/08
출원번호 10-2019-0036878 (2019-03-29)
공개번호 10-2019-0114895 (2019-10-10)
등록번호 10-2188415-0000 (2020-12-02)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2018-069081 (2018-03-30)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190036878
발명자 / 주소
  • 카케노 타카시 / 일본국 ******* 이바라키현 기타이바라기시 하나카와쵸 우스바 ***-* 제이엑스금속주식회사 이소하라고죠 내
  • 쿠게 토시히로 / 일본국 ******* 이바라키현 기타이바라기시 하나카와쵸 우스바 ***-* 제이엑스금속주식회사 이소하라고죠 내
출원인 / 주소
  • 제이엑스금속주식회사 / 일본국 도쿄도 미나토쿠 도라노몬 *초메 **방 *고
대리인 / 주소
  • 특허법인(유한) 대아
심사청구여부 있음 (2019-03-29)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

스퍼터링에 수반되는 노쥴의 발생을 양호하게 억제할 수 있는 스퍼터링 타겟을 제공한다.In, Zn 및 O로 이루어지고, Zn과 In이 원자 농도(at%)비로 0.05≤Zn/(In+Zn)≤0.22를 충족하고, 상대 밀도가 98% 이상이고, 포어가 2개/10,500 μ㎡ 이하이고, 두께방향으로 중심에서의 체적 저항률이 2 mΩ·㎝ 이하인 스퍼터링 타겟.

대표청구항

In, Zn 및 O로 이루어지고, Zn과 In이 원자 농도(at%)비로 0.05≤Zn/(In+Zn)≤0.22를 충족하고, 상대 밀도가 98% 이상이고, 최대 지름이 50 nm 내지 300 ㎚인 포어가 2개/10,500 μ㎡ 이하이고, 두께방향으로 중심에서의 체적 저항률이 2 mΩ·㎝ 이하인 스퍼터링 타겟.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 산화인듐-산화아연계 (IZO) 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법 | 가케노 다카시
    상세보기
  2. [한국] IZO 소결체 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법 | 가케노 다카시, 야마구치 요헤이, 엔도 요스케
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로