최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2019-0056558 (2019-05-14) | |
공개번호 | 10-2020-0131667 (2020-11-24) | |
등록번호 | 10-2230222-0000 (2021-03-15) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190056558 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2019-05-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 정전척의 접착층 충진 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 정전척의 접착층 충진 방법은, 베이스 바디, 제1 접착층, 히터 플레이트, 제2 접착층 및 흡착 플레이트 순으로 적층된 정전척에 있어서, 상기 제1 접착층이 손상된 정전척을 준비하는 단계와, 상기 정전척의 측면에서 손상된 제1 접착층을 기설정된 깊이 이하로 제거하는 단계와, 상기 손상된 제1 접착층이 제거된 상기 정전척의 측면에, 상기 손상된 제1 접착층과 물성이 상이한 재생 접착제를 도포하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 손상된 제1 접착층을 보다 효
베이스 바디, 제1 접착층, 히터 플레이트, 제2 접착층 및 흡착 플레이트 순으로 적층된 정전척에 있어서,상기 제1 접착층이 손상된 정전척을 준비하는 단계;상기 정전척의 측면에서 손상된 제1 접착층을 기설정된 깊이 이하로 제거하는 단계;상기 손상된 제1 접착층이 제거된 상기 정전척의 측면에, 상기 손상된 제1 접착층과 물성이 상이한 재생 접착제를 도포하는 단계;를 포함하고,상기 재생 접착제의 점도는 상기 손상된 제1 접착층의 점도 보다 작고,상기 재생 접착제의 비중은 상기 손상된 제1 접착층의 비중 보다 크고,상기 재생 접착제의 유
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.