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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0060753 (2019-05-23) | |
공개번호 | 10-2020-0071644 (2020-06-19) | |
등록번호 | 10-2307189-0000 (2021-09-24) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020180159424 (2018-12-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190060753 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-05-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 반도체용 고선택비 식각액에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 무기산; 실란 계열 조절제; 및 설퍼(Sulfur) 계열 보조제;를 포함하는, 반도체용 고선택비 식각액에 관한 것이다.
무기산;실란 계열 조절제; 및설퍼(Sulfur) 계열 보조제;를 포함하고,상기 설퍼(Sulfur) 계열 보조제는,황산염(Sulfate), 황산 수소염(HydrogenSulfate), 과산화황산염(Persulfate), 아황산염(Sulfite), 중아황산염(bisulfite), 하이포아황산염(Hyposulfite), 하이드로설파이트(hydrosulfite), 메타중아황산염(metabisulfite), 티오황산염(Thiosulfate), 이산화황(Sulfur dioxide), 삼산화황(Sulfur trioxide) 및 아황산(Sulfu
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