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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

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반도체용 고선택비 식각액 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09K-013/06
  • H01L-021/3105
  • H01L-021/311
출원번호 10-2019-0060753 (2019-05-23)
공개번호 10-2020-0071644 (2020-06-19)
등록번호 10-2307189-0000 (2021-09-24)
우선권정보 대한민국(KR) 1020180159424 (2018-12-11)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190060753
발명자 / 주소
  • 윤영록 / 경기도 수원시 영통구 웰빙타운로 ***, ****동 ***호(이의동, 광교파크자이더테라스)
  • 한재희 / 경기도 광명시 하안로 ***, ***동 ***호 (하안동, 주공아파트)
  • 정경진 / 경기도 화성시 병점*로 ***, ***동 ****호 (병점동, 안화동마을주공*단지)
출원인 / 주소
  • 주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제*공단*길 **
대리인 / 주소
  • 특허법인 무한
심사청구여부 있음 (2019-05-23)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 반도체용 고선택비 식각액에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 무기산; 실란 계열 조절제; 및 설퍼(Sulfur) 계열 보조제;를 포함하는, 반도체용 고선택비 식각액에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

무기산;실란 계열 조절제; 및설퍼(Sulfur) 계열 보조제;를 포함하고,상기 설퍼(Sulfur) 계열 보조제는,황산염(Sulfate), 황산 수소염(HydrogenSulfate), 과산화황산염(Persulfate), 아황산염(Sulfite), 중아황산염(bisulfite), 하이포아황산염(Hyposulfite), 하이드로설파이트(hydrosulfite), 메타중아황산염(metabisulfite), 티오황산염(Thiosulfate), 이산화황(Sulfur dioxide), 삼산화황(Sulfur trioxide) 및 아황산(Sulfu

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 식각용 조성물 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 | 임정훈, 이진욱, 박재완
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이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 실리콘 질화막 식각 조성물 및 이를 이용한 방법 | 김동현, 박현우, 홍성준, 이명호, 송명근, 김훈식, 고재중, 이명의, 황준혁
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