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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2019-0071570 (2019-06-17) | |
| 등록번호 | 10-2104751-0000 (2020-04-20) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020190071570 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2019-06-17) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 명세서는 탄화규소 잉곳 및 이의 제조방법에 대한 것으로, 도가니 본체에 원료를, 그리고 탄화규소 시드가 위치하는 도가니 덮개를 상기 도가니 본체에 배치한 후 그 밀도가 0.14 내지 0.28 g/cc인 단열재로 상기 도가니 본체를 감싸서 반응용기를 마련하는 준비단계; 및 상기 반응용기를 반응챔버 내에 위치시키고 상기 반응용기 내부를 결정성장분위기로 조절하여 상기 원료가 상기 탄화규소 시드를 향하도록 증기 이송시키고, 상기 탄화규소 시드로부터 성장시킨 탄화규소 잉곳을 마련하는 성장단계;를 포함하여, 고품질의 4H SiC을 함유하는
도가니 본체에 원료를, 그리고 상기 도가니 본체에 탄화규소 시드가 위치하는 도가니 덮개를 배치한 후 밀도가 0.14 내지 0.19 g/cc인 단열재로 상기 도가니 본체를 감싸서 반응용기를 마련하는 준비단계; 및 상기 반응용기를 반응챔버 내에 위치시키고 상기 반응용기 내부를 결정성장분위기로 조절하여 상기 원료가 상기 탄화규소 시드에 증기이송되고 증착되어 상기 탄화규소 시드로부터 성장시킨 탄화규소 잉곳을 마련하는 성장단계;를 포함하고,상기 단열재는 압축강도가 0.2 Mpa 이상인 탄소계 펠트를 포함하고,상기 단열재는 기공도가 80 내지
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