초록

탄화규소 잉곳의 제조과정 중, 본격적으로 잉곳을 성장시키는 단계에서, 반응용기 내부에서 외부 방향으로 경사진 각도를 갖는 가이드를 구비하고, 가열수단을 소정 속도로 이동시켜 반응용기 내부의 온도 분포를 잉곳의 성장에 따라 변화시키는 탄화규소 잉곳의 제조방법, 탄화규소 잉곳 제조용 시스템 및 이에 따라 제조된 탄화규소 잉곳에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

탄화규소 원료와 탄화규소 종자정이 배치된 반응용기 내부공간을 진공 분위기로 조절하는 준비단계;불활성 기체를 상기 내부공간에 주입하고, 상기 반응용기를 둘러싸는 가열수단을 통해 상기 탄화규소 원료를 상기 종자정 상에 승화시켜 탄화규소 잉곳이 성장되도록 유도하는 진행단계; 그리고상기 내부공간의 온도를 상온으로 냉각하고 상기 종자정과 접한 상기 탄화규소 잉곳의 후면을 절단하여 상기 탄화규소 잉곳을 회수하는 냉각단계;를 포함하여 상기 탄화규소 잉곳을 제조하고,상기 내부공간은 상기 탄화규소 종자정의 외주면을 소정 간격을 두고 감싸며 위치하는

탄화규소 원료와 탄화규소 종자정이 배치된 반응용기 내부공간을 진공 분위기로 조절하는 준비단계;불활성 기체를 상기 내부공간에 주입하고, 상기 반응용기를 둘러싸는 가열수단을 통해 상기 탄화규소 원료를 상기 종자정 상에 승화시켜 탄화규소 잉곳이 성장되도록 유도하는 진행단계; 그리고상기 내부공간의 온도를 상온으로 냉각하고 상기 종자정과 접한 상기 탄화규소 잉곳의 후면을 절단하여 상기 탄화규소 잉곳을 회수하는 냉각단계;를 포함하여 상기 탄화규소 잉곳을 제조하고,상기 내부공간은 상기 탄화규소 종자정의 외주면을 소정 간격을 두고 감싸며 위치하는 가이드부를 포함하고,상기 가이드부는 상기 탄화규소 종자정에서 탄화규소 원료를 향하는 방향으로 연장되고,상기 탄화규소 종자정의 일면과 상기 탄화규소 원료를 최단거리로 연결하는 가상의 기준선을 0 °로 볼 때, 상기 가이드부는 상기 탄화규소 종자정의 외측으로 -4 ° 내지 50 °만큼 경사진 가이드경사각을 갖고,상기 진행단계는 상기 가열수단이 이동되는 과정을 포함하고,상기 가열수단의 이동은 상기 종자정을 기준으로 하는 상대위치가 0.1 mm/hr 내지 0.48 mm/hr의 속도로 멀어지고,상기 탄화규소 잉곳은 전면 및 상기 후면을 포함하고,상기 후면에 수직한 방향으로 최대 높이가 15 mm 이상이고,상기 후면의 직경 Db와 전면의 둘레 직경 Df의 비 Df/Db는 0.95 내지 1.17이고,상기 후면의 둘레의 일측에서 후면에 수직한 선과, 상기 수직한 선 및 상기 후면의 직경을 포함하는 평면에서 상기 후면의 둘레의 일측으로부터 가까운 상기 전면의 일측을 잇는 가장자리선과의 각도는 -4 ° 내지 50 °인,탄화규소 잉곳의 제조방법.