초록

고순도의 제1 소결체와 제1 소결체보다는 순도가 다소 낮은 제2 소결체를 중첩하고, 중첩된 소결체들을 고온에서 가압한 상태에서 제2 소결체에 함유된 소결 보조제의 용융물에 의해 소결체들이 액상 접합되도록 하는 고순도 정전척 제조방법이 소개된다. 소결체들 간의 접합면은 분리되지 않고 연속되며, 열팽창 계수 차이로 인한 휨변형이 저감될 수 있다.

대표청구항 ▼

a) 제1 소결체의 일면에 제1 소결체보다 저순도인 제2 소결체의 일면을 포개는 단계, 여기서 제1 소결체는 알루미나 함량이 99.9 질량% 이상이며, 제2 소결체는 알루미나 함량이 85 질량% 이상 99.5 질량% 미만이며 1400~1580℃에서 용융되는 소결 보조제를 0.5 질량% 이상 15 질량% 미만으로 함유하고, 제1 소결체의 일면과 제2 소결체 내부 중 적어도 어느 하나에 전극이 마련됨; 및b) 상기 소결체들의 계면에서 제2 소결체에 함유된 소결 보조제에 의한 액상 접합이 이루어지도록 소결체들을 가압하고 1400~1580

a) 제1 소결체의 일면에 제1 소결체보다 저순도인 제2 소결체의 일면을 포개는 단계, 여기서 제1 소결체는 알루미나 함량이 99.9 질량% 이상이며, 제2 소결체는 알루미나 함량이 85 질량% 이상 99.5 질량% 미만이며 1400~1580℃에서 용융되는 소결 보조제를 0.5 질량% 이상 15 질량% 미만으로 함유하고, 제1 소결체의 일면과 제2 소결체 내부 중 적어도 어느 하나에 전극이 마련됨; 및b) 상기 소결체들의 계면에서 제2 소결체에 함유된 소결 보조제에 의한 액상 접합이 이루어지도록 소결체들을 가압하고 1400~1580℃에서 열처리 하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가압접합에 의한 고순도 정전척 제조방법.