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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2019-0082262 (2019-07-08) | |
| 공개번호 | 10-2021-0006229 (2021-01-18) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020190082262 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 법적상태 | 공개 |
본 발명의 실시예에 따른 챔버 클리닝 방법은 박막 증착 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하고, 챔버 내부를 처리하는 챔버 안정화 공정을 포함하고, 챔버 안정화 공정은, 챔버 내부로 세정 가스를 분사하여, 박막 증착으로 생성된 부산물을 식각시켜 세정하는 세정 공정 및 챔버 내부로 알루미늄(Al), 지르코늄(Zr) 및 하프늄(Hf) 중 적어도 하나를 포함하는 가스를 코팅 가스로 분사하여, 챔버 내벽 및 챔버 내부에 설치된 구성품 중 적어도 하나의 표면에 보호막을 생성하는 코팅 공정을 포함한다.
박막 증착 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하고, 상기 챔버 내부를 처리하는 챔버 안정화 공정; 을 포함하고,상기 챔버 안정화 공정은,상기 챔버 내부로 세정 가스를 분사하여, 상기 박막 증착으로 생성된 부산물을 식각시켜 세정하는 세정 공정; 및상기 챔버 내부로 알루미늄(Al), 지르코늄(Zr) 및 하프늄(Hf) 중 적어도 하나를 포함하는 가스를 코팅 가스로 분사하여, 상기 챔버 내벽 및 상기 챔버 내부에 설치된 구성품 중 적어도 하나의 표면에 보호막을 생성하는 코팅 공정; 을 포함하는 챔버 클리닝 방법.
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