초록 ▼

OLED(Organic Light Emitting Diodes)와 같은 디스플레이 장치의 패널 제조 공정상에서 전자동 인공지능 기반의 비전 검사(vision examination)와 비전 검사에서 이미지로 검사 불가능한 invisible 영역과 극소 결함에 대해 전기적 검사를 병행 수행하여 디스플레이 패널의 검사에 정확성을 도모할 수 있도록 한 인공지능 기반의 디스플레이 패널 검사방법에 관한 것으로서, 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 비전 검사기를 통해 검사 이미지를 획득하고, 전기 검사기를 이용하여 검사 대상 TFT 패널의 픽

OLED(Organic Light Emitting Diodes)와 같은 디스플레이 장치의 패널 제조 공정상에서 전자동 인공지능 기반의 비전 검사(vision examination)와 비전 검사에서 이미지로 검사 불가능한 invisible 영역과 극소 결함에 대해 전기적 검사를 병행 수행하여 디스플레이 패널의 검사에 정확성을 도모할 수 있도록 한 인공지능 기반의 디스플레이 패널 검사방법에 관한 것으로서, 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 비전 검사기를 통해 검사 이미지를 획득하고, 전기 검사기를 이용하여 검사 대상 TFT 패널의 픽셀 단위 출력 파형을 검출하고, 검출한 출력 파형을 전처리하여 전기 검사 파형을 획득하며, 획득한 검사 이미지 및 전기 검사 파형을 인공지능 학습 알고리즘인 딥 러닝 알고리즘으로 분석하여 불량 유무를 판정하고, 불량 발생 시, 불량 유형 및 불량 발생 공정을 판정한 후, 판정한 불량 유형 및 불량 발생 공정의 복구를 위한 조치 정보를 자동으로 생성하여, 비전 검사에서 검출하지 못하는 invisible 영역과 극소 결함을 정확하게 검출할 수 있게 된다.

대표청구항 ▼

인공지능 알고리즘을 이용하여 디스플레이 패널을 검사하는 방법으로서,(a) 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 검사 대상 TFT 패널을 광학적으로 검사하는 비전 검사기를 이용하여 검사 대상 TFT 패널의 게이트를 구동하여 패턴 이미지를 획득한 후 패턴 이미지를 처리하여 검사 이미지를 획득하는 단계;(b) 상기 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 상기 비전 검사기에 일체로 내장된 전기 검사기를 이용하여 검사 대상 TFT 패널의 라인별 게이트를 구동하여 출력 파형을 검출하고, 검출한 출력 파형을 전처리하여 전기 검사 파형을 획득하는 단계

인공지능 알고리즘을 이용하여 디스플레이 패널을 검사하는 방법으로서,(a) 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 검사 대상 TFT 패널을 광학적으로 검사하는 비전 검사기를 이용하여 검사 대상 TFT 패널의 게이트를 구동하여 패턴 이미지를 획득한 후 패턴 이미지를 처리하여 검사 이미지를 획득하는 단계;(b) 상기 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 상기 비전 검사기에 일체로 내장된 전기 검사기를 이용하여 검사 대상 TFT 패널의 라인별 게이트를 구동하여 출력 파형을 검출하고, 검출한 출력 파형을 전처리하여 전기 검사 파형을 획득하는 단계;(c) 상기 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 상기 (a) 및 (b)단계에서 각각 획득한 검사 이미지 및 전기 검사 파형을 인공지능 학습 알고리즘인 딥 러닝 알고리즘으로 분석하여 불량 유무를 판정하는 단계;(d) 상기 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 상기 (c)단계의 판정 결과 불량 발생 시, 불량 유형 및 불량 발생 공정을 판정하는 단계; 및(e) 상기 디스플레이 패널 검사 운영 콘솔에서 상기 (d)단계에서 판정한 불량 유형 및 불량 발생 공정의 복구를 위한 조치 정보를 자동으로 생성하는 단계를 포함하고,상기 (c)단계는 디스플레이 패널의 TFT 제조 시 공정별 픽셀 단위의 파형을 매핑하고, 마스크 필터(mask filter)를 사용하여 유의성 있는 파형을 학습 데이터로 확정하고, 딥 러닝 알고리즘을 이용하여 학습하여 전기 검사 기준 파형을 생성하여 저장하며, 전기 검사 시 공정별로 획득한 파형을 상기 전기 검사 기준 파형과 비교하여 gap의 차이 값으로 불량 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 인공지능 기반의 디스플레이 패널 검사 방법.