최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2019-0096350 (2019-08-07) | |
등록번호 | 10-2071599-0000 (2020-01-22) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020180092597 (2018-08-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190096350 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2019-08-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 실리콘질화막의 식각용 조성물에 관한 것으로, 반도체 공정에서 실리콘질화막을 식각하여 제거하는 데 사용되며, 고온의 식각 공정에서 실리콘산화막 대비 실리콘질화막의 식각 속도가 선택적으로 높은 반도체 제조용 실리콘질화막에 대한 고선택비 식각용 조성물에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 고선택비 식각용 조성물은 적층되어 있는 실리콘질화막과 실리콘산화막 중 실리콘질화막을 선택적으로 높은 선택비로 식각하는 동시에 실리콘산화막에 데미지 및 식각속도를 최소화 하고 실리콘질화막 식각에 의한 불용성 실리콘 화합물생성을 최소화한다.
하기 화학식 1 로 표시되는 화합물, 인산, 실리콘 화합물, 아미노산 화합물 및 물을 포함하고, 실리콘산화막에 대하여 실리콘질화막을 선택적으로 식각하는 실리콘질화막의 식각용 조성물.[화학식 1]
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.