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연합인증

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고주파 유도가열 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-014/26
  • C23C-014/24
  • H01L-051/00
  • H01L-051/56
  • H05B-006/10
출원번호 10-2019-0116582 (2019-09-23)
공개번호 10-2021-0034811 (2021-03-31)
등록번호 10-2258506-0000 (2021-05-25)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190116582
발명자 / 주소
  • 김기수 / 인천광역시 부평구 부평북로 *** ,*층(청천동,화창빌딩)
  • 이시현 / 인천광역시 부평구 부평북로 *** ,*층(청천동,화창빌딩)
출원인 / 주소
  • (주)에스브이엠테크 / 인천광역시 부평구 부평북로 *** ,*층(청천동,화창빌딩)
대리인 / 주소
  • 특허법인아주
심사청구여부 있음 (2019-09-23)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

본 발명은 고주파 유도가열 장치를 개시한다. 개시된 고주파 유도가열 장치는 증착을 위한 물질을 수용하는 크루시블 본체와, 크루시블 본체의 외부에 구비되며, 고주파를 발생하여 크루시블 본체를 가열하는 유도가열부재를 구비하며, 상기 크루시블 본체는, 이종 재질에 의해 적어도 2중 벽 이상의 구조를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 유기발광다이오드(OLED) 제조공정에서 액상의 증착 물질을 가열하여 기화시킬 때 불순물에 의해 증착 물질이 오염되는 것을 방지할 수 있고, 증착 물질의 가열시 열효율을 향상시킬 수 있으

대표청구항 ▼

증착을 위한 물질을 수용하는 크루시블 본체; 및 상기 크루시블 본체의 외부에 구비되며, 고주파를 발생하여 상기 크루시블 본체를 가열하는 유도가열부재;를 포함하며, 상기 크루시블 본체는, 동일재질 또는 이종 재질에 의해 적어도 2중 벽 이상의 구조를 가지도록 형성되고,상기 크루시블 본체는, 세라믹류인 석영(Quartz), 흑연(Graphite) 및 복합재(Composite), 금속류인 알루미나(Alumina), 티탄, 탄탈 중 어느 하나 이상에 의해 형성되며, 상기 유도가열부재에 의해 가열되는 크루시블 하우징; 및 상기 크루시블 하우

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 고주파 유도가열을 이용한 구리 후막 증착 장치 및 구리 후막을 포함하는 OLED 조명용 방열판 | 안승준
    상세보기
  2. [한국] 크루시블 및 이를 포함하는 가열어셈블리 | 김정형
    상세보기

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