초록

본 발명은 오엘이디 증착원을 개시한다. 개시된 오엘이디 증착원은 상단부에 증착물질을 수용하는 크루시블이 안착되는 하우징과, 상기 크루시블을 가열하도록 상기 하우징에 탈착되는 가열부와, 상기 가열부를 외부의 제어기기와 연결하도록 메인 플랜지에 구비되며, 상기 하우징의 열전대가 접속되는 열전대 접속부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 각 부품들을 상호 조립할 수 있도록 하여 제작이 간편하고, 유지보수 성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 안전성을 향상킬 수 있다.

대표청구항 ▼

상단부에 증착물질을 수용하는 크루시블이 안착되는 하우징; 상기 크루시블을 가열하도록 상기 하우징에 탈착되는 가열부; 및 상기 가열부를 외부의 제어기기와 연결하도록 메인 플랜지에 구비되며, 상기 하우징의 열전대가 접속되는 열전대 접속부;를 포함하며,상기 열전대는, 상기 하우징에 고정되어 온도를 감지하는 열감지센서; 및 상기 열감지센서에서 연장되어 상기 열전대 접속부에 접속되는 복수의 접속와이어;를 포함하며,상기 열전대 접속부는, 상기 메인 플랜지를 통과하는 복수의 단자선이 하단부에 접속 고정되고, 상단부에 상기 접속와이어가 접속 고정

상단부에 증착물질을 수용하는 크루시블이 안착되는 하우징; 상기 크루시블을 가열하도록 상기 하우징에 탈착되는 가열부; 및 상기 가열부를 외부의 제어기기와 연결하도록 메인 플랜지에 구비되며, 상기 하우징의 열전대가 접속되는 열전대 접속부;를 포함하며,상기 열전대는, 상기 하우징에 고정되어 온도를 감지하는 열감지센서; 및 상기 열감지센서에서 연장되어 상기 열전대 접속부에 접속되는 복수의 접속와이어;를 포함하며,상기 열전대 접속부는, 상기 메인 플랜지를 통과하는 복수의 단자선이 하단부에 접속 고정되고, 상단부에 상기 접속와이어가 접속 고정되는 통전부재; 상기 통전부재를 절연하도록 상기 통전부재를 지지하는 절연부재; 및 상기 통전부재를 커버하도록 상기 메인 플랜지에 결합되며, 상기 통전부재와 상기 절연부재의 유동을 방지하는 보호커버;를 포함하고, 상기 절연부재는, 상기 단자선이 관통하는 단자 삽입공이 형성되어 상기 메인 플랜지에 안착되며, 상기 통전부재가 올려지는 제1절연판; 상기 접속와이어가 관통하는 와이어 삽입공이 형성되어 상기 통전부재의 상단에 위치하며, 상기 접속와이어가 관통하는 와이어 삽입공이 형성되는 제2절연판; 상기 통전부재의 접촉을 방지하도록 상기 제1절연판과 상기 제2절연판 사이에 구비되는 간격유지판; 및 상기 와이어 삽입공을 통해 통전부재에 접촉되는 상기 접속와이어를 보호하는 절연튜브;를 포함하고,상기 하우징은, 상기 메인 플랜지에 고정되며, 상기 열전대가 결합되는 하우징 지지대; 상기 하우징 지지대에 안착되어 결합되며, 내면에 상기 가열부가 삽입되어 고정되도록 중공형으로 형성되는 내부 리플렉터; 상기 가열부를 지지하도록 상기 내부 리플렉터에 구비되는 히터탈착 지지부; 및 상기 내부 리플렉터를 커버하도록 중공형으로 형성되어 상기 하우징 지지대에 안착되며, 하단부가 상기 내부 리플렉터 측면에 볼트로 조립되어 고정되는 외부 리플렉터;를 포함하고,상기 하우징 지지대는, 고정축에 의해 상기 메인 플랜지에 결합되고, 상기 내부 리플렉터와 상기 외부 리플렉터의 하단부에 각각 삽입되어 결합되는 리플렉터 조립단차부가 형성되며, 상면에 단열공간부를 구비하는 하부 리플렉터가 결합되며,상기 하부 리플렉터는, 상기 하우징 지지대에 상하로 이격되게 배치되는 리플렉터판; 상기 리플렉터판 사이에 상기 단열공간부가 형성되도록 상기 리플렉터판 사이에 결합되어 상기 리플렉터판을 이격시키는 간격유지링; 및 상기 하우징 지지대에 결합되어 상기 리플렉터 및 상기 간격유지링을 상기 하우징 지지대에 고정하는 체결부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 증착원.