[특허]가스 내 부유 파우더 트랩장치

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가스 내 부유 파우더 트랩장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/67 B01D-039/12 B01D-047/00 B01D-047/06
출원번호	10-2019-0154269 (2019-11-27)
등록번호	10-2073529-0000 (2020-01-29)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190154269
발명자 / 주소	강성희 / 경기도 오산시 수청로 *, 동 **호 (금암동, 금암마을 휴먼시아아파트)
출원인 / 주소	강성희 / 경기도 오산시 수청로 *, 동 **호 (금암동, 금암마을 휴먼시아아파트)
대리인 / 주소	엄명용
심사청구여부	있음 (2019-11-27)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 가스 내 부유 파우더 트랩장치에 관한 것이다. 이는, 상부로 개방된 처리공간을 갖는 본체, 상기 본체의 상단부에 결합하여 처리공간을 밀폐하는 밀폐커버를 포함하고, 처리할 가스를 통과시키는 케이싱과; 상기 케이싱의 처리공간내에 수직방향으로 이격 배치되며 외부로부터 주입된 냉각수에 의해 냉각된 상태로 케이싱을 통과하는 가스와 접하여 가스를 냉각시켜 가스에 혼재되어 있는 파우더를 그 외주면에 부착시키는 다수의 냉각디스크, 냉각디스크를 상호 연결하여 냉각디스크의 간격을 유지시키는 간격유지봉을 구비한 파우더포집부가 포함된다.상기와 같이 이루어지는 본 발명의 가스 내 부유 파우더 트랩장치는, 스크러버를 향하는 가스를 그 내부로 통과시키며 가스 내에 혼재되어 있는 파우더의 일부를 포집하여 스크러버의 부하를 낮춤으로서 스크러버에 대한 유지보수 부담을 경감시키며 반도체 생산공정의 전체적인 효율을 높일 수 있게 한다.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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