최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2019-0070812 (2019-06-14) | |
등록번호 | 10-2067074-0000 (2020-01-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190070812 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2019-06-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 반도체 제조공정 중 박막의 증착 및 식각 시 프로세서 챔버에서 발생하여 배기되는 부산물을 포집하는 부산물 포집장치에 관한 것으로, 상면에 유체 및 부산물이 인입되는 인입구 및 하면에 유체가 배출되는 배출구가 형성된 챔버, 상기 챔버 내에 위치하여 상기 부산물이 표면에 안착되고, 상기 부산물이 안착되는 표면이 매쉬형태로 형성되며, 길이방향의 양끝이 결합된 벨트부, 상기 벨트부 내측 및 외측에 복수개의 롤러를 구비하여 상기 벨트부에 텐션(tension)을 가하면서 상기 벨트부가 이동되도록 회전하는 롤러부, 상기 벨트부의 매쉬
부산물 포집장치에 있어서, 상면에 유체 및 부산물이 인입되는 인입구가 형성되고, 다른 면에 유체가 배출되는 배출구가 형성된 챔버; 및상기 챔버와 별도로 구비되어 교체 가능하도록 구성된 포집 저장부를 포함하고,상기 챔버는,상기 인입구를 통해 들어온 부산물이 표면에 안착되고, 상기 부산물이 안착되는 표면이 매쉬형태로 형성되며, 길이방향의 양끝이 결합된 벨트부;상기 벨트부 내측 및 외측에 복수개의 롤러를 구비하여 상기 벨트부에 텐션(tension)을 가하면서 상기 벨트부가 회전 이동되면서 부산물이 낙하되도록 구동하는 롤러부; 상기 롤러부
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.