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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0174831 (2019-12-26) | |
공개번호 | 10-2021-0082662 (2021-07-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190174831 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 프로브를 일괄적으로 부착할 수 있는 프로브 카드의 제작 방법 및 이를 이용하여 제작된 프로브 카드에 관한 것이다.
베이스 기판의 표면에 임시층을 형성하고 상기 임시층의 표면에 마스킹 재료층을 형성한 다음 패터닝하여 오픈 영역을 형성하고 상기 오픈 영역에 전도성 물질을 충진하고 상기 전도성 물질을 제외한 상기 마스킹 재료층을 에칭 공정으로 제거하는 단계;내부에 복수의 수직 배선부 및 수평 배선부를 구비하고 양극산화막 재질로 구성되는 양극산화막 배선 기판을 포함하여 구성되는 다층 배선 기판을 제작하는 단계;상기 전도성 물질이 부착된 상기 베이스 기판을 상기 다층 배선 기판의 프로브 접속 패드 상측에 위치시키고 상기 전도성 물질의 일단을 상기 프로브
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