초록 ▼

[과제] 서로 간극(間隙)을 두고 배치된 복수의 전극을 가지는 압력 센서에 있어서, 정확하게 측정 가능한 압력 측정 범위를 넓게 한다.[해결 수단] 압력 센서(1)는, 공통 전극(9)과, 복수의 증감 전극(31)과, 복수의 산형 감압층(33)과, 복수의 박막 트랜지스터(30)를 갖추고 있다.공통 전극(9)은, 일면(一面)에 퍼져 형성되어 있다.복수의 증감 전극(31)은, 공통 전극(9)에 대향해 매트릭스 상(狀)으로 설치되어 있다.복수의 산형 감압층(33)은, 복수의 증감 전극(31)의 공통 전극(9)측 상(上)에 각각 형성되어 있

[과제] 서로 간극(間隙)을 두고 배치된 복수의 전극을 가지는 압력 센서에 있어서, 정확하게 측정 가능한 압력 측정 범위를 넓게 한다.[해결 수단] 압력 센서(1)는, 공통 전극(9)과, 복수의 증감 전극(31)과, 복수의 산형 감압층(33)과, 복수의 박막 트랜지스터(30)를 갖추고 있다.공통 전극(9)은, 일면(一面)에 퍼져 형성되어 있다.복수의 증감 전극(31)은, 공통 전극(9)에 대향해 매트릭스 상(狀)으로 설치되어 있다.복수의 산형 감압층(33)은, 복수의 증감 전극(31)의 공통 전극(9)측 상(上)에 각각 형성되어 있다.증감 전극(31)은, 압압력(押壓力)이 공통 전극(9)으로부터 산형 감압층(33) 및 증감 전극(31)을 향해 작용 함으로써, 공통 전극(9)과 산형 감압층(33)이 접촉하는 접촉면이 산형 감압층(33)의 평면시(平面視) 중심부로부터 외측으로 퍼져 갈 때, 접촉면의 외연(外緣)과의 거리가 서서히 짧아진다.

대표청구항 ▼

일면에 퍼져 형성된 공통 전극과,상기 공통 전극에 대향해 매트릭스 상으로 설치된 복수의 증감 전극과,상기 복수의 증감 전극의 상기 공통 전극측 상에 각각 형성된 복수의 산형 감압층과,상기 복수의 증감 전극에 대응해 상기 복수의 증감 전극의 상기 공통 전극과 반대측에 설치되고, 1 또는 인접한 2 이상이 1개의 증감 전극에 접속되는 복수의 박막 트랜지스터를 갖추고,상기 증감 전극은, 압압력이 상기 공통 전극에 대해 상기 산형 감압층 및 상기 증감 전극을 향해 작용 함으로써, 상기 공통 전극과 상기 산형 감압층이 접촉하는 접촉면이 상기

일면에 퍼져 형성된 공통 전극과,상기 공통 전극에 대향해 매트릭스 상으로 설치된 복수의 증감 전극과,상기 복수의 증감 전극의 상기 공통 전극측 상에 각각 형성된 복수의 산형 감압층과,상기 복수의 증감 전극에 대응해 상기 복수의 증감 전극의 상기 공통 전극과 반대측에 설치되고, 1 또는 인접한 2 이상이 1개의 증감 전극에 접속되는 복수의 박막 트랜지스터를 갖추고,상기 증감 전극은, 압압력이 상기 공통 전극에 대해 상기 산형 감압층 및 상기 증감 전극을 향해 작용 함으로써, 상기 공통 전극과 상기 산형 감압층이 접촉하는 접촉면이 상기 산형 감압층의 평면시(平面視) 중심부로부터 외측으로 퍼져 갈 때, 상기 접촉면의 외연과의 거리가 서서히 짧아지는, 압력 센서.