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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-7010915 (2019-04-16) | |
공개번호 | 10-2019-0057087 (2019-05-27) | |
등록번호 | 10-2463934-0000 (2022-11-01) | |
우선권정보 | 미국(US) 15/281,600 (2016-09-30) | |
국제출원번호 | PCT/US2017/052155 (2017-09-19) | |
국제공개번호 | WO 2018/063851 (2018-04-05) | |
번역문제출일자 | 2019-04-16 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197010915 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-09-16) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
정전 척 및 그리핑 시스템은 상이한 지름을 갖는 워크피스를 클램핑 및 처리하도록 형성된다. 이온 주입 장치는 제1워크피스의 직경이 제2워크피스 보다 큰 프로세스 챔버에서 제1워크피스과 제2워크피스에 이온을 선택적으로 제공한다. 로드 락 챔버는 프로세스 환경을 외부 환경으로부터 격리시키고, 프로세스 챔버와 외부 환경 사이에서 제1또는 제2워크피스를 이송하는 동안 각각의 제1또는 제2워크피스에 대한 워크피스 지지대를 구비한다. 진공 로봇은 척과 워크피스 지지대 사이에서 제1또는 제2워크피스를 이송하고, 복수의 계단 형 가이드 사이에서
복수의 이온을 프로세스 챔버에 제공하도록 형성된 이온 주입 장치;제1워크피스 및 제2워크피스가 각각 복수의 이온에 노출되는 동안 상기 프로세스 챔버 내에서 상기 제1워크피스 및 제2워크피스 중 하나를 선택적으로 지지하기 위하여 형성된 척으로서, 상기 제2워크피스의 직경은 상기 제1워크피스의 직경보다 큰 척;상기 프로세스 챔버에 작동 가능하게 결합된 로드 락 챔버로서, 상기 로드 락 챔버는 상기 프로세스 챔버와 외부 환경 사이에서 상기 제1워크피스 및 제2워크피스 중 어느 하나가 각각 이송되는 동안 제1워크피스와 제2워크피스 중 어느
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