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연합인증

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이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

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웨이퍼 홀더 및 웨이퍼 이송 장치, 시스템 및 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
  • H01L-021/67
  • H01L-021/677
  • H01L-021/68
  • H01L-021/687
출원번호 10-2019-7032389 (2019-10-31)
공개번호 10-2019-0135041 (2019-12-05)
등록번호 10-2276490-0000 (2021-07-06)
우선권정보 중국(CN) 201710210557.1 (2017-03-31)
국제출원번호 PCT/CN2018/080976 (2018-03-29)
국제공개번호 WO 2018/177341 (2018-10-04)
번역문제출일자 2019-10-31
DOI http://doi.org/10.8080/1020197032389
발명자 / 주소
  • 왕, 강 / 중국 상하이 ****** 장지앙 하이-테크 파크 장동 로드 ****
  • 장, 롱준 / 중국 상하이 ****** 장지앙 하이-테크 파크 장동 로드 ****
  • 지앙, 샤오유 / 중국 상하이 ****** 장지앙 하이-테크 파크 장동 로드 ****
  • 시, 이차오 / 중국 상하이 ****** 장지앙 하이-테크 파크 장동 로드 ****
  • 리우, 카이 / 중국 상하이 ****** 장지앙 하이-테크 파크 장동 로드 ****
  • 첸, 준펑 / 중국 상하이 ****** 장지앙 하이-테크 파크 장동 로드 ****
출원인 / 주소
  • 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 / 중국 상하이 ****** 장지앙 하이-테크 파크 장동 로드 ****
대리인 / 주소
  • 유성원; 전소정; 배경용
심사청구여부 있음 (2019-10-31)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

웨이퍼 홀더 및 웨이퍼 이송 장치, 시스템 및 방법이 개시된다. 웨이퍼 홀더(1)는 웨이퍼 이송 장치 상에 장착되며, 홀더 본체(11) 및 흡입기(12)를 포함한다. 홀더 본체는 제 1 개구(111)를 형성하고, 흡입기는 제 1 스커트 (121)를 포함한다. 제 1 스커트는 홀더 본체의 일 측에 위치하고 제 1 개구에 연결된다. 홈(112)은 제 1 스커트와 제 1 개구 사이의 조인트에 형성된다. 홈은 제 1 스커트의 외측에 위치하고, 제 1 스커트의 변형시 흡입기의 베이스부에서 발생된 응력을 완화시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

홀더 본체 및 흡입기를 포함하는 웨이퍼 홀더에 있어서,상기 홀더 본체는 제 1 개구를 형성하고; 상기 흡입기는 제 1 스커트를 포함하되, 상기 제 1 스커트는 홀더 본체의 일 측에 위치하여 상기 제 1 개구에 연결되고, 홈은 상기 제 1 스커트와 상기 제 1 개구 사이의 조인트에 형성되고, 상기 홈은 상기 제 1 스커트의 외측에 위치하며,상기 제 1 스커트는 원뿔대 형상을 가지며, 상기 홈은 상기 홀더 본체의 표면에 형성되고 환형이며,상기 홈은 제 1 측벽 및 제 2 측벽을 포함하고, 상기 제 1 측벽은 상기 제 1 개구에 더 가깝

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 웨이퍼 이송 아암 | 윤점채, 박준기
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  2. [일본] VACUUM CHUCK PEN | UGUCHI FUKUMI
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