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연합인증

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초고진공 이송 및 저장 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/677
출원번호 10-2020-7007085 (2020-03-10)
공개번호 10-2020-0031175 (2020-03-23)
우선권정보 미국(US) 15/674,883 (2017-08-11)
국제출원번호 PCT/US2018/042635 (2018-07-18)
국제공개번호 WO 2019/032252 (2019-02-14)
번역문제출일자 2020-03-10
DOI http://doi.org/10.8080/1020207007085
발명자 / 주소
  • 파나고풀로스, 테오도레스 / 미국, ***** 캘리포니아, 로스 가토스, 힐브룩 드라이브 ***
  • 굴드, 리처드 / 미국, ***** 캘리포니아, 프레몬트, 토레스 애비뉴 ****
  • 레제스, 에드문도 / 미국, ***** 캘리포니아, 프레몬트, 스프루스 테라스 *****
  • 보니페이스, 존 / 미국, ***** 캘리포니아, 산 호세, 커런트 드라이브 ****
  • 베리, 이반 / 미국, ***** 캘리포니아, 산 호세, 크레슨트 빌리지 서클 ***
  • 둘킨, 알렌산더 / 미국, ***** 캘리포니아, 서니베일, 유콘 드라이브 ****
  • 반 슈라벤디즈크, 바트 / 미국, ***** 캘리포니아, 팔로 알토, 코리나 웨이 ****
출원인 / 주소
  • 램 리써치 코포레이션 / 미국 ***** 캘리포니아주 프레몬트 쿠싱 파크웨이 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인인벤싱크
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 공개

초록

초고진공에서 적어도 하나의 반도체 웨이퍼를 이송 또는 저장하기 위한 장치가 제공된다.휴대용 진공 이송 포드가 제공되고, 하나 이상의 웨이퍼들을 저장하기 위한 내부 웨이퍼 저장 챔버 및 내부 웨이퍼 저장 챔버 내에서 적어도 하나의 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 지지부를 포함한다.패시브 진공 펌핑 가능한 패시브로 가능한 진공 펌프는 내부 웨이퍼 저장 챔버와 유체로 연통하고, 휴대용 진공 이송 포드에 기계적으로 연결된다.유체 연통부의 개방 및 폐쇄를 위한 셧 오프 밸브가 패시브로 가능한 진공 펌프와 내부 웨이퍼 저장 챔버 사이에 있다.

대표청구항 ▼

진공에서 적어도 하나의 반도체 웨이퍼를 이송 또는 저장하기 위한 장치에 있어서, 휴대용 진공 이송 포드 (pod) 로서, 하나 이상의 웨이퍼들을 저장하기 위한 내부 웨이퍼 저장 챔버; 및 상기 내부 웨이퍼 저장 챔버 내에서 적어도 하나의 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 지지부를 포함하는, 상기 휴대용 진공 이송 포드; 상기 내부 웨이퍼 저장 챔버와 유체로 연통하여 패시브 진공 펌핑이 가능하고, 상기 휴대용 진공 이송 포드에 기계적으로 연결되는, 패시브로 (passively) 가능한 진공 펌프; 및 상기 패시브로 가능한 진공 펌프와 상

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