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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0019720 (2020-02-18) | |
등록번호 | 10-2110244-0000 (2020-05-07) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020190096364 (2019-08-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200019720 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-02-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기존의 웨이퍼 이송 자동화모듈 구조에 순환부를 설치하여, 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 질소를 공급하면서 웨이퍼 이송 자동화모듈 내부 습기를 제거할 수 있도록 하는 방법이다. 이와 같은, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 복수 개의 제1홀이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈과, 복수 개의 제2홀이 일정한 간격으로 형성되어 고정판모듈 상에서 슬라이딩 하고, 제1방향으로 이동하면 제2홀이 제1홀과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 제2홀이 제1홀을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈을 포함하는 공기셔터부를 제조하는 (A)단
복수 개의 제1홀(111)이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈(110)과, 복수 개의 제2홀(121)이 일정한 간격으로 형성되어 상기 고정판모듈(110) 상에서 슬라이딩하고, 제1방향으로 이동하면 상기 제2홀(121)이 상기 제1홀(111)과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 상기 제2홀(121)이 상기 제1홀(111)을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈(120)을 포함하는 공기셔터부(10)를 제조하는 (A)단계;일면에 상기 공기셔터부(10)가 설치되고 내부에 수용공간이 형성된 하우징모듈(210)과, 상기 하우징모듈(210)의 내부에 설치된 복수
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