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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-7032389 (2019-10-31) | |
공개번호 | 10-2019-0135041 (2019-12-05) | |
등록번호 | 10-2276490-0000 (2021-07-06) | |
우선권정보 | 중국(CN) 201710210557.1 (2017-03-31) | |
국제출원번호 | PCT/CN2018/080976 (2018-03-29) | |
국제공개번호 | WO 2018/177341 (2018-10-04) | |
번역문제출일자 | 2019-10-31 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197032389 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-10-31) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
웨이퍼 홀더 및 웨이퍼 이송 장치, 시스템 및 방법이 개시된다. 웨이퍼 홀더(1)는 웨이퍼 이송 장치 상에 장착되며, 홀더 본체(11) 및 흡입기(12)를 포함한다. 홀더 본체는 제 1 개구(111)를 형성하고, 흡입기는 제 1 스커트 (121)를 포함한다. 제 1 스커트는 홀더 본체의 일 측에 위치하고 제 1 개구에 연결된다. 홈(112)은 제 1 스커트와 제 1 개구 사이의 조인트에 형성된다. 홈은 제 1 스커트의 외측에 위치하고, 제 1 스커트의 변형시 흡입기의 베이스부에서 발생된 응력을 완화시킬 수 있다.
홀더 본체 및 흡입기를 포함하는 웨이퍼 홀더에 있어서,상기 홀더 본체는 제 1 개구를 형성하고; 상기 흡입기는 제 1 스커트를 포함하되, 상기 제 1 스커트는 홀더 본체의 일 측에 위치하여 상기 제 1 개구에 연결되고, 홈은 상기 제 1 스커트와 상기 제 1 개구 사이의 조인트에 형성되고, 상기 홈은 상기 제 1 스커트의 외측에 위치하며,상기 제 1 스커트는 원뿔대 형상을 가지며, 상기 홈은 상기 홀더 본체의 표면에 형성되고 환형이며,상기 홈은 제 1 측벽 및 제 2 측벽을 포함하고, 상기 제 1 측벽은 상기 제 1 개구에 더 가깝
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