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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0014591 (2020-02-07) | |
공개번호 | 10-2021-0100804 (2021-08-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200014591 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 금속 박막 형성용 전구체에 관한 것으로서, 하기 화학식 1로 표시되는 아미노에테르기를 함유하는 유기금속 화합물을 포함하는 것을 특징으로 한다.[화학식 1]상기 화학식 1에서,M은 2족 내지 6족, 13족, 14족 중에서 선택되는 금속 원자이고,R1 내지 R4는 각각 독립적으로 수소원자, C1-C6의 알킬기 또는 알킬렌기이며,X는 수소원자, C1-C5의 알킬기, NR5R6 또는 OR7이며,R5 내지 R7은 각각 독립적으로 수소원자, C1-C5의 알킬기이며,m은 0 내지 4 중 어느 하나의 정수이며,n은 1 내지 3 중 어느
하기 화학식 1로 표시되는 아미노에테르기를 함유하는 유기금속 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 박막 형성용 전구체.[화학식 1]상기 화학식 1에서,M은 2족 내지 6족, 13족, 14족 중에서 선택되는 금속 원자이고,R1 내지 R4는 각각 독립적으로 수소원자, C1-C6의 알킬기 또는 알킬렌기이며,X는 수소원자, C1-C5의 알킬기, NR5R6 또는 OR7이며,R5 내지 R7은 각각 독립적으로 수소원자, C1-C5의 알킬기이며,m은 0 내지 4 중 어느 하나의 정수이며,n은 1 내지 3 중 어느 하나의 정수이다.
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