시라이시 준
/ 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
사이간 슈이치로
/ 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
모리 타츠야
/ 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
와타나베 마사히로
/ 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
사사키 유키
/ 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
출원인 / 주소
토토 가부시키가이샤 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메*반 *고
대리인 / 주소
하영욱
심사청구여부
있음 (2020-02-18)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
[과제] 아크 방전의 저감을 도모할 수 있는 정전척 및 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.[해결수단] 흡착의 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 상기 제 1 주면에 개구하는 적어도 하나의 홈을 갖는 세라믹 유전체 기판과, 상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 가스 도입로를 갖는 베이스 플레이트와, 상기 홈과 상기 가스 도입로 사이에 설치된 제 1 다공질부를 구비하고, 상기 세라믹 유전체 기판은 상기 홈과 상기 가스 도입로를 연통하고, 상기 베이스 플레이트로부터 상기 세라믹 유전체
[과제] 아크 방전의 저감을 도모할 수 있는 정전척 및 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.[해결수단] 흡착의 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 상기 제 1 주면에 개구하는 적어도 하나의 홈을 갖는 세라믹 유전체 기판과, 상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 가스 도입로를 갖는 베이스 플레이트와, 상기 홈과 상기 가스 도입로 사이에 설치된 제 1 다공질부를 구비하고, 상기 세라믹 유전체 기판은 상기 홈과 상기 가스 도입로를 연통하고, 상기 베이스 플레이트로부터 상기 세라믹 유전체 기판을 향하는 제 1 방향으로, 상기 세라믹 유전체 기판을 관통하는 복수의 구멍을 갖고, 상기 제 1 다공질부는 복수의 구멍을 갖는 적어도 하나의 다공 영역과, 상기 다공 영역보다 치밀한 적어도 하나의 치밀 영역을 갖고, 상기 다공 영역은 적어도 하나의 치밀부를 더 갖고, 상기 제 1 방향에 대하여 수직인 평면에 투영했을 때에 상기 세라믹 유전체 기판에 형성된 상기 복수의 구멍 중 적어도 하나는 상기 치밀부 중 적어도 하나와 겹치도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전척이 제공된다.
대표청구항▼
흡착의 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 상기 제 1 주면에 개구하는 적어도 하나의 홈을 갖는 세라믹 유전체 기판과,상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 가스 도입로를 갖는 베이스 플레이트와,상기 홈과 상기 가스 도입로 사이에 설치된 제 1 다공질부를 구비하고,상기 세라믹 유전체 기판은 상기 홈과 상기 가스 도입로를 연통하고, 상기 베이스 플레이트로부터 상기 세라믹 유전체 기판을 향하는 제 1 방향으로, 상기 세라믹 유전체 기판을 관통하는 복수의 구멍을 갖고,상기 제 1 다공질부는 복수
흡착의 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 상기 제 1 주면에 개구하는 적어도 하나의 홈을 갖는 세라믹 유전체 기판과,상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 가스 도입로를 갖는 베이스 플레이트와,상기 홈과 상기 가스 도입로 사이에 설치된 제 1 다공질부를 구비하고,상기 세라믹 유전체 기판은 상기 홈과 상기 가스 도입로를 연통하고, 상기 베이스 플레이트로부터 상기 세라믹 유전체 기판을 향하는 제 1 방향으로, 상기 세라믹 유전체 기판을 관통하는 복수의 구멍을 갖고,상기 제 1 다공질부는 복수의 구멍을 갖는 적어도 하나의 다공 영역과, 상기 다공 영역보다 치밀한 적어도 하나의 치밀 영역을 갖고, 상기 다공 영역은 적어도 하나의 치밀부를 더 갖고,상기 제 1 방향에 대하여 수직인 평면에 투영했을 때에 상기 세라믹 유전체 기판에 형성된 상기 복수의 구멍 중 적어도 하나는 상기 치밀부 중 적어도 하나와 겹치도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전척.
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