초록 ▼

본 발명은 기존의 웨이퍼 이송 자동화모듈 구조에 순환부를 설치하여, 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 질소를 공급하면서 웨이퍼 이송 자동화모듈 내부 습기를 제거할 수 있도록 하는 방법이다. 이와 같은, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 복수 개의 제1홀이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈과, 복수 개의 제2홀이 일정한 간격으로 형성되어 고정판모듈 상에서 슬라이딩 하고, 제1방향으로 이동하면 제2홀이 제1홀과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 제2홀이 제1홀을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈을 포함하는 공기셔터부를 제조하는 (A)단

본 발명은 기존의 웨이퍼 이송 자동화모듈 구조에 순환부를 설치하여, 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 질소를 공급하면서 웨이퍼 이송 자동화모듈 내부 습기를 제거할 수 있도록 하는 방법이다. 이와 같은, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법은 복수 개의 제1홀이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈과, 복수 개의 제2홀이 일정한 간격으로 형성되어 고정판모듈 상에서 슬라이딩 하고, 제1방향으로 이동하면 제2홀이 제1홀과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 제2홀이 제1홀을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈을 포함하는 공기셔터부를 제조하는 (A)단계; 일면에 공기셔터부가 설치되고 내부에 수용공간이 형성된 하우징모듈과, 상기 하우징모듈의 내부에 설치된 복수 개의 노즐모듈을 포함하는 질소공급부를 제조하는 (B)단계; 및 질소공급부를 웨이퍼 이송 자동화모듈(EFEM: Equipment Front End Module)에 설치된 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)의 공기순환구에 설치하는 (C)단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

복수 개의 제1홀(111)이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈(110)과, 복수 개의 제2홀(121)이 일정한 간격으로 형성되어 상기 고정판모듈(110) 상에서 슬라이딩하고, 제1방향으로 이동하면 상기 제2홀(121)이 상기 제1홀(111)과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 상기 제2홀(121)이 상기 제1홀(111)을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈(120)을 포함하는 공기셔터부(10)를 제조하는 (A)단계;일면에 상기 공기셔터부(10)가 설치되고 내부에 수용공간이 형성된 하우징모듈(210)과, 상기 하우징모듈(210)의 내부에 설치된 복수

복수 개의 제1홀(111)이 일정한 간격으로 형성된 고정판모듈(110)과, 복수 개의 제2홀(121)이 일정한 간격으로 형성되어 상기 고정판모듈(110) 상에서 슬라이딩하고, 제1방향으로 이동하면 상기 제2홀(121)이 상기 제1홀(111)과 중첩되고 제2방향으로 이동하면 상기 제2홀(121)이 상기 제1홀(111)을 폐쇄하는 슬라이딩판모듈(120)을 포함하는 공기셔터부(10)를 제조하는 (A)단계;일면에 상기 공기셔터부(10)가 설치되고 내부에 수용공간이 형성된 하우징모듈(210)과, 상기 하우징모듈(210)의 내부에 설치된 복수 개의 노즐모듈(220)을 포함하는 질소공급부(20)를 제조하는 (B)단계;상기 질소공급부(20)를 웨이퍼 이송 자동화모듈(EFEM: Equipment Front End Module)에 설치된 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)의 공기순환구(C)에 설치하는 (C)단계; 및내부에 가속팬모듈(310)을 포함하는 순환부(30)를 제조하여, 일단을 상기 노즐모듈(220)에 연결시키고, 타단을 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 일측면에 연결하여 상기 웨이퍼 이송 자동화모듈의 내부에 충진된 가스를 상기 노즐모듈(220)로 공급시키는 (D)단계를 포함하고,상기 (D)단계는,상기 순환부(30)의 타단에, 수동밸브(301), 질소의 압력 조절이 가능한 레귤레이터(302), 압력이 설정치 이상이 되면 열리고 미만이 되면 닫히는 압력스위치(303), 유체의 질량을 검출하는 질량유량계(304), 전기적 신호에 의해 작동하는 전자밸브(305)를 설치하는 단계를 더 포함하는, 질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법.