초록

본 발명은 폴리이미드 필름을 유전층으로 채용하면서도 상면에 고경도 유무기 복합 코팅층이 형성되어 내구성이 향상된 폴리이미드 정전척에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 폴리이미드 정전척은, 금속 재질의 베이스; 상기 베이스 상면에 접착되어 구비되며, 소재를 정전력으로 흡착하는 폴리이미드 처킹부; 상기 폴리이미드 처킹부 상에 코팅되어 구비되는 유무기 복합 코팅층;을 포함한다.

대표청구항 ▼

금속 재질의 베이스;상기 베이스 상면에 접착되어 구비되며, 소재를 정전력으로 흡착하는 폴리이미드 처킹부;상기 폴리이미드 처킹부 상에 코팅되어 구비되는 유무기 복합 코팅층;을 포함하며, 상기 유무기 복합 코팅층은, SiOH를 주성분으로 하는 무기 코팅액; 경화용 유기 조성물; 펄 소재가 15 ~ 45 : 5 ~ 10 : 1의 중량비로 혼합되는 도료 조성물을 코팅하여 이루어지고, 상기 무기 코팅액은, TetraEthyl Orthosilicate : Zinc acetate : Ethanol : H2O : HCl을 1 : 0.01 ~ 5

금속 재질의 베이스;상기 베이스 상면에 접착되어 구비되며, 소재를 정전력으로 흡착하는 폴리이미드 처킹부;상기 폴리이미드 처킹부 상에 코팅되어 구비되는 유무기 복합 코팅층;을 포함하며, 상기 유무기 복합 코팅층은, SiOH를 주성분으로 하는 무기 코팅액; 경화용 유기 조성물; 펄 소재가 15 ~ 45 : 5 ~ 10 : 1의 중량비로 혼합되는 도료 조성물을 코팅하여 이루어지고, 상기 무기 코팅액은, TetraEthyl Orthosilicate : Zinc acetate : Ethanol : H2O : HCl을 1 : 0.01 ~ 5 : 1 ~ 4 : 1 ~ 8 : 0.01 ~ 5 의 몰비로 혼합하여 제조되고, 상기 경화용 유기 조성물은, 상온경화형 합성수지 45 ~ 65중량%, 수용성 폴리머 1 ~ 20중량%, 에폭시계 실란 커플링제 0.5 ~ 5중량%, 실리콘 카바이드 5 ~ 10중량%, 이소결성 알루미나 분말 7 ~ 15중량%, 아연 분말 0.5 ~ 10중량%, 이산화규소(SiO2) 17.5 ~ 35중량%, 복합 산화코발트(CoO+Co3O4)로 이루어진 무기안료 0.5 ~ 10중량% , 수용성 형광 안료 0.1 ~ 1중량% 및 분산제 0.1 ~ 2중량%를 포함하며, 상기 펄 소재는 이산화티탄이 코팅된 마이카인 것을 특징으로 하는 폴리이미드 정전척.