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연합인증

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극저온 정전 척 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
  • H01L-021/67
  • H02N-013/00
출원번호 10-2021-7019133 (2021-06-21)
공개번호 10-2021-0080593 (2021-06-30)
등록번호 10-2573194-0000 (2023-08-28)
우선권정보 미국(US) 16/217,036 (2018-12-11);미국(US) 62/900,810 (2019-09-16)
국제출원번호 PCT/US2019/060709 (2019-11-11)
국제공개번호 WO 2020/123069 (2020-06-18)
번역문제출일자 2021-06-21
DOI http://doi.org/10.8080/1020217019133
발명자 / 주소
  • 사로드 비쉬와나트, 요가난다 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애비뉴 **** 엠/에스 **** 로우 디파트먼트 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드 (내)
  • 바바얀, 스티븐 이. / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애비뉴 **** 엠/에스 **** 로우 디파트먼트 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드 (내)
  • 프로티, 스티븐 도날드 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애비뉴 **** 엠/에스 **** 로우 디파트먼트 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드 (내)
  • 가르시아 데 고로도, 알바로 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애비뉴 **** 엠/에스 **** 로우 디파트먼트 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드 (내)
  • 슈미트, 안드레아스 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애비뉴 **** 엠/에스 **** 로우 디파트먼트 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드 (내)
  • 노자임, 앤드류 앙투안 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애비뉴 **** 엠/에스 **** 로우 디파트먼트 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드 (내)
출원인 / 주소
  • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인 남앤남
심사청구여부 있음 (2021-06-21)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

본원에서 설명되는 실시예들은, 정전 척(ESC) 상에 배치된 기판이 프로세싱에 적절한 극저온 프로세싱 온도로 유지되는 한편, 프로세싱 챔버의 다른 표면들이 상이한 온도로 유지되도록, 정전 척(ESC)의 극저온 온도 동작을 가능하게 하는 기판 지지 어셈블리에 관한 것이다.기판 지지 어셈블리는 정전 척(ESC), ESC에 커플링된 ESC 베이스 어셈블리 ― ESC 베이스 어셈블리는 ESC 베이스 어셈블리 내에 배치된 베이스 채널을 가짐 ―, 및 설비 채널이 내부에 배치된 설비 플레이트를 포함한다.설비 플레이트는 플레이트 부분 및 벽 부

대표청구항 ▼

기판 지지 어셈블리로서, 지지 표면 및 상기 지지 표면 반대편의 최하부 표면을 갖는 정전 척(ESC; electrostatic chuck) ― 상기 ESC는 상기 ESC 내에 배치된 척킹 전극 및 하나 이상의 저항성 가열기들을 가짐 ―; 상기 ESC에 커플링된 ESC 베이스 어셈블리 ― 상기 ESC 베이스 어셈블리는 상기 ESC 베이스 어셈블리 내에 배치된 베이스 채널을 가짐 ―; 설비 플레이트 ― 상기 설비 플레이트는 상기 설비 플레이트 내에 배치된 설비 채널을 갖고, 상기 설비 플레이트는 플레이트 부분 및 벽 부분을 포함하고,

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. [일본] SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARTATUS | SHIROSAKI TOMOHIDE, KIKUCHI KAZUO, HIRANO SHINSUKE, KADOMURA SHINGO, SATO JUNICHI
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  2. [한국] 처리 장치 | 니시모토 신야, 유아사 다마키
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  3. [한국] 정전 척 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | 조순천, 황석원, 정선욱
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  4. [한국] 고온 프로세스들을 위한 기판 지지 어셈블리 | 파케, 비제이 디.
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  5. [미국] Guard heater and pressure chamber assembly including the same | Worm, Steven Lee, McClain, James B.
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