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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0046462 (2020-04-17) | |
공개번호 | 10-2021-0128615 (2021-10-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200046462 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 에테를 관능기를 포함하는 노볼락폴리머 및 이를 포함하는 하드마스크용 조성물에 관한 것이다.
하기 화합물군 A의 화합물.[화합물군 A]상기 화합물군 A에서 R1은 수소, C1~C4의 알킬이다.
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