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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2020-0047574 (2020-04-20) | |
| 공개번호 | 10-2021-0129495 (2021-10-28) | |
| 등록번호 | 10-2413664-0000 (2022-06-22) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020200047574 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2020-04-20) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
클러스터 증착 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 중앙부에 로봇 암이 장착되고, 제1 벽체와, 상기 제1 벽체와 직각을 이루는 제2 벽체와, 상기 제1 벽체와 평행하게 대향하는 제3 벽체와, 상기 제3 벽체와 직각을 이루며 상기 제2 벽체와 평행을 이루는 제4 벽체와, 상기 제1 벽체와 상기 제4 벽체를 연결하는 제5 벽체 및 상기 제2 벽체와 상기 제3 벽체를 연결하는 제6 벽체를 포함하는 트랜스퍼 챔버 모듈과; 상기 제1 벽체를 공유하는 제1 증착공간과 상기 제2 벽체를 공유하는 제2 증착공간으로 구획되며, 상기
중앙부에 로봇 암이 장착되고, 제1 벽체와, 상기 제1 벽체와 직각을 이루는 제2 벽체와, 상기 제1 벽체와 평행하게 대향하는 제3 벽체와, 상기 제3 벽체와 직각을 이루며 상기 제2 벽체와 평행을 이루는 제4 벽체와, 상기 제1 벽체와 상기 제4 벽체를 연결하는 제5 벽체 및 상기 제2 벽체와 상기 제3 벽체를 연결하는 제6 벽체를 포함하는 트랜스퍼 챔버 모듈과;상기 제1 벽체를 공유하는 제1 증착공간과, 상기 제2 벽체를 공유하는 제2 증착공간 및 상기 제1 증착공간과 상기 제2 증착공간 사이에 위치하는 대기 공간으로 구획되며,
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