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[한국특허] MEMS 콤 액추에이터에서의 보호를 위한 자기 정렬된 유전체 라이너 구조물
SELF-ALIGNED DIELECTRIC LINER STRUCTURE FOR PROTECTION IN MEMS COMB ACTUATOR 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B81B-007/02
출원번호 10-2020-0074383 (2020-06-18)
공개번호 10-2021-0028073 (2021-03-11)
등록번호 10-2368329-0000 (2022-02-23)
우선권정보 미국(US) 16/801,350 (2020-02-26);미국(US) 62/894,033 (2019-08-30)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200074383
발명자 / 주소
  • 쉬 치아오춘 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 *, 넘버 *
  • 천 치밍 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 *, 넘버 *
  • 판 룽위안 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 *, 넘버 *
  • 위 충이 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 *, 넘버 *
출원인 / 주소
  • 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 *, 넘버 *
대리인 / 주소
  • 김태홍; 김진회
심사청구여부 있음 (2020-06-18)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

일부 실시예에서, 본 개시 내용은 콤(comb) 구조물을 포함하는 미세 전자 기계 시스템(microelectromechanical system; MEMS) 콤 액추에이터에 관한 것이다. 콤 구조물은 제1 재료를 갖는 지지층 및 지지층의 제1 표면으로부터 제1 방향으로 멀어지게 연장되는 복수의 돌출부를 포함한다. 복수의 돌출부는 또한 제1 재료로 제조된다. 복수의 돌출부는 지지층의 제1 표면에 평행한 제2 방향을 따라 분리된다. MEMS 콤 액추에이터는, 지지층의 제1 표면 및 복수의 돌출부의 외부면을 연속적으로 그리고 완전히 덮는

대표청구항 ▼

미세 전자 기계 시스템(microelectromechanical system; MEMS) 콤 액추에이터(comb actuator)에 있어서,콤 구조물; 및유전체 라이너 구조물을 포함하고,상기 콤 구조물은,제1 재료를 포함하는 지지층; 및상기 제1 재료를 포함하고, 상기 지지층의 제1 표면으로부터 제1 방향으로 멀어지게 연장되는 복수의 돌출부들을 포함하고,상기 복수의 돌출부들은 상기 지지층의 제1 표면에 평행한 제2 방향을 따라 분리되며,상기 유전체 라이너 구조물은 상기 지지층의 제1 표면 및 상기 복수의 돌출부들의 외부면을 완전히

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 마이크로 엑츄에이터와, 이를 구비한 가변 광감쇄기 및 그제조방법 | 김종삼, 이정현, 홍윤식
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  2. [한국] 빗형 MEMS 디바이스 및 빗형 MEMS 디바이스를 제조하는 방법 | 데헤 알폰스
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