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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0086231 (2020-07-13) | |
등록번호 | 10-2216321-0000 (2021-02-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200086231 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-07-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 열 및 전기전도 향상을 위한 중층 박막 필름 및 제조방법에 관한 것으로, 비중이 0.8~2.2g/㎤이며, 두께는 10μm~2.0mm의 열팽창계수가 낮은 그라파이트 필름(10)을 마그네트론 스파터링 챔버(20) 내부의 언와인딩 챔버(21)에 권취시키는 제1 단계(S100)와; 상기 그라파이트 필름의 양면에 불순물을 제거하고 동(Cu) 박막 증착 시 넓은 전류범위를 갖도록 에칭이나 오존 처리 중에서 어느 하나를 사용하여 전처리를 실시하는 제2 단계(S200)와; 상기 전처리된 그라파이트 필름을 상기 마그네트론 스파터링 챔버
비중이 0.8~2.2g/㎤이며, 두께는 10μm~2.0mm의 열팽창계수가 낮은 그라파이트 필름(10)을 마그네트론 스파터링 챔버(20) 내부의 언와인딩 챔버(21)에 권취시키는 제1 단계(S100)와;상기 그라파이트 필름의 양면에 불순물을 제거하고 동(Cu) 박막 증착 시 넓은 전류범위를 갖도록 에칭이나 오존 처리 중에서 어느 하나를 사용하여 전처리를 실시하는 제2 단계(S200)와;상기 전처리된 그라파이트 필름을 상기 마그네트론 스파터링 챔버 내부의 증착 챔버(22)로 이송시켜 아르곤(Ar)을 사용하여 스파터링법으로 200W/mK
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