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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0107759 (2020-08-26) | |
등록번호 | 10-2260505-0000 (2021-05-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200107759 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-08-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예에 따른 정전척을 제작하는 방법은, 흡착 플레이트 상에 히터 플레이트를 적층하는 단계; 상기 히터 플레이트 상에 접착제를 제1 소정의 두께로 도포하고 경화하는 과정을 복수 회 반복함으로써 접착층을 형성하는 단계; 상기 접착층에서 제2 소정의 두께만큼을 제거함으로써 제1 모듈을 제작하는 단계; 및 상기 제1 모듈과 제2 모듈을 결합하는 단계;를 포함한다.
베이스 바디 및 히터 플레이트 사이의 접착층이 손상되는 경우, 상기 접착층 중 일부만 제거함으로써 상기 손상된 접착층을 수리할 수 있는 정전척을 제작하는 방법에 있어서,흡착 플레이트 상에 상기 히터 플레이트를 적층하는 단계;상기 히터 플레이트 상에 접착제를 200μm 두께로 도포하고 경화함으로써 단일 접착 레이어가 생성되는 과정을 4회 반복함으로써 생성된 4개의 접착 레이어들에 의하여 접착층을 형성하는 단계;상기 접착층에서 250μm 내지 300μm의 범위 내에서 설정된 두께만큼을 제거함으로써 생성된 제1 접착층을 포함하는 제1 모
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