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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7031762 (2020-11-03) | |
공개번호 | 10-2020-0128205 (2020-11-11) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2012-074232 (2012-03-28) | |
국제출원번호 | PCT/JP2013/001813 (2013-03-15) | |
국제공개번호 | WO 2013/145622 (2013-10-03) | |
번역문제출일자 | 2020-11-03 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207031762 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-11-03) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
기판 접합 장치로서, 제1 기판과 제2 기판을 서로 접합시키는 기판 접합 장치로서, 서로 위치 맞춤하여 서로 겹쳐진 제1 기판과 제2 기판을 서로 접합하는 접합부와, 접합부에 의한 접합 전에, 제1 기판 및 제2 기판 중 적어도 일방의 요철 상태를 검출하는 검출부와, 검출부에 의해 검출된 요철 상태가 소정의 조건을 만족하는지 아닌지를 판단하는 판단부를 구비하며, 접합부는, 요철 상태가 소정의 조건을 만족하지 않는다고 판단부에 의해 판단된 경우, 제1 기판 및 제2 기판의 접합을 행하지 않는다.
제1 기판과 제2 기판을 서로 접합시키는 기판 접합 장치로서,서로 위치 맞춤된 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 서로 접합하는 접합부와,접합 전 공정에서 검출된 정보 또는 전기적 검출 방법에 의해 얻어진 정보를 이용하여, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접합할지 여부를 판단하는 판단부를 구비하는 기판 접합 장치.
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